판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9251800

NIKON NSR SF120은 고성능, 높은 정확성 및 신뢰성 높은 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 소액화 (microfabrication), 리소그래피 (lithography), 광학 패턴 (optical patterning) 과 같은 광범위한 어플리케이션을 위해 fabs에서 생산 및 개발을 위해 설계되었습니다. 1 단계 스테퍼 장비를 갖춘 NIKON NSR-SF120은 탁월한 정렬 정확도, 높은 처리량, 다양한 노출 옵션을 제공합니다. NSR SF 120은 최대 6 "직경의 웨이퍼를 지원할 수있는 웨이퍼 스테이지를 제공합니다. 웨이퍼 스테이지는 단단한 알루미늄 구조와 고정밀 차동 공기 베어링 스테이지가있는 외부 프레임 (outer frame) 을 특징으로합니다. 설계를 통해 XY 및 Z 축의 정확한 스테이지 동작을 가능하게하여 최대 5 웨이퍼/s의 처리량을 제공하고 높은 수준의 정렬 정확도 (± 0.5 äm) 를 달성 할 수 있습니다. 스테이지에는 완전 자동 정렬 시스템도 제공됩니다. NSR SF120에는 300mm 렌즈 캐니스터 (lens canister) 가 장착되어 있으며, 다양한 NIKON 옵틱에 최적화되어 다양한 시야와 수치 조리개를 제공합니다. 또한 모든 기능을 갖춘 고정밀 (high-precision) 정렬 머신이 제공되어 광학 구성 요소를 유연하고 정확하게 배치할 수 있습니다. 150W 수은 램프 (mercury lamp) 는 다양한 노출 에너지를 제공하여 응용 프로그램에 따라 광범위한 노출 설정을 제공합니다. 할로겐 광원의 짧은 파장을 통해 NIKON NSR SF 120은 1 µm의 해상도를 달성 할 수 있습니다. NSR-SF120 은 공구를 자동화하고 운영 환경에 쉽게 통합할 수 있는 종합적인 제어 인터페이스 (control interface) 를 제공합니다. 사용자 친화적 인 터치스크린 인터페이스를 통해 에셋을 설정하고, 매개변수를 시간 없이 조정할 수 있습니다. 또한, NIKON NSR SF120은 적절한 안전 규정을 준수하며, 장비 작동을 안전하고 효율적으로 만드는 사용자 친화적 인 안전 모델을 제공합니다. 따라서 NIKON NSR-SF120은 효율적이고 정확한 웨이퍼 노출을 달성하기위한 이상적인 선택입니다.