판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9251799

NIKON NSR SF120
ID: 9251799
웨이퍼 크기: 12"
i-Line stepper, 12".
NIKON NSR SF120은 최첨단 웨이퍼 스테퍼 머시닝 장비로, 정밀도가 매우 높은 마이크로 일렉트로닉 구성 요소를 생산하도록 설계되었습니다. 스테퍼는 직경이 최대 6 인치 인 크고 작은 웨이퍼 기판을 이미징 할 수 있습니다. 이 시스템은 고급 단계, 렌즈 장치 및 매우 민감한 이미징 방법으로 구성됩니다. NIKON NSR-SF120은 2.0 마이크로미터 미만의 더 평평한 공간으로 독특한 웨이퍼 장착 단계를 사용합니다. 이를 통해 웨이퍼 스캔 및 이미징 중 정확도가 높아집니다. 스테이지는 수차를 줄이고 정확성과 처리량을 향상시키는 NIKON HyperDrive 장치에서 작동합니다. 이 스테이지는 또한 선형 모션 모터로 설계되었으며, 이는 부드러운 움직임과 정확성에 기여합니다. NSR SF 120 렌즈 장치는 모범적인 이미지 해상도를 제공하도록 설계된 4 개의 렌즈 세트로 구성됩니다. 렌즈는 Apollo 및 Vistar 렌즈와 같은 NIKON 미세 이미징 렌즈를 특징으로합니다. 렌즈는 수차가 낮아 도전적인 제조 공정에서 최적의 결과를 제공합니다. NSR-SF120에서 사용하는 고급 이미징 (advanced imaging) 방법에는 tandem-field scanning 기술이 포함되어 있어 wafer 해석이 향상되도록 필드 간에 정확하게 겹치는 이미징이 가능합니다. 또한, 독특한 광원을 특징으로하며, 향상된 이미징을 위해 80 MHz 펄스 제어가 가능합니다. 스테퍼는 또한 초점 및 노출 조정을위한 혁신적인 자동 교정 기계를 갖추고 있습니다. NSR SF120은 최고 수준의 정밀도를 가진 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 부품을 생산하도록 설계된 뛰어난 웨이퍼 스테퍼 머시닝 도구입니다. 이 자산은 정확도, 뛰어난 이미징 렌즈, 향상된 이미지 해상도 (Advanced Imaging Methods) 를 위해 설계된 내구성이 뛰어난 웨이퍼 장착 단계를 자랑합니다. 이러한 이유로 NIKON NSR SF 120은 까다로운 전자 제조 공정을 위해 신뢰할 수있는 선택입니다.
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