판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9243871

NIKON NSR SF120
ID: 9243871
빈티지: 2003
i-Line steppers 2003 vintage.
NIKON NSR SF120은 반도체 부품 생산에 사용되는 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 처리량과 향상된 이미징 기능을 제공하도록 설계된 고급 광학 리소그래피 (Optical Lithography) 툴입니다. 이 장비에는 고급 옵틱 (optic) 과 정밀 컨투어 스캔 헤드 (scan head) 가 장착되어 있어 다양한 생산 환경에서 웨이퍼 (wafer) 에 장치 패턴의 고해상도 이미지를 제공 할 수 있습니다. NIKON NSR-SF120을 사용하면 DP (Double Patterning) 및 2D/3D 구조와 같은 고급 피쳐의 정확하고 유연한 패턴을 최대 투명도로 설정할 수 있습니다. SWE (Single-wavelength Exposures), MWE (Multiple Wavelength Exposures) 및 MLE (Multi-Level Exposures) 등 다양한 노출 기술을 지원합니다. 시스템은 또한 이중 파장 노출 (dual-wavength exposure) 모드를 수용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 넓은 범위 내에서 각 파장의 노출 매개변수를 변경할 수 있습니다. NSR SF 120은 정확하고 반복 가능한 정렬, 오버레이 재생성, 고해상도 이미징, 패턴화 감소 등의 이점을 제공합니다. 이 고급 장치는 4 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수도 있습니다. NIKON NSR SF 120도 매우 안정적이고 효율적입니다. 즉, 프로세스 단계 수를 줄이고 각 웨이퍼에서 최대 처리량을 추출하도록 설계되었습니다. 강력한 모터 머신 (motor machine) 은 고속, 정밀한 스캔을 가능하게하며 전용 제어 장치는 최적의 노출 제어 장치와 함께 작동하여 완벽한 정확성을 보장합니다. 또한 NSR SF120 은 고급형 환기 시스템 (ventilation system) 을 사용하여 온도를 낮게 유지하고 운영 프로세스를 원활하게 실행할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 정교한 경보 및 자가 모니터링 시스템 (self-monitoring system) 이 장착되어 있어 직원들에게 즉시 불규칙성을 경고합니다. 마지막으로 NSR-SF120에는 자동 유리 정렬 및 초점 감지 (focus detection) 와 같은 기능이 제공되므로 정확성과 정확도가 더욱 향상됩니다. 전반적으로 NIKON NSR SF120은 뛰어난 이미징 기능과 최대 처리량을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 노출 기법과 고급 모터 도구 (Advanced Motor Tool) 를 통해 정밀도, 반복성, 신뢰성 있는 작동을 가능하게 합니다.
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