판매용 중고 NIKON NSR SF120 #9226645

NIKON NSR SF120은 웨이퍼 패턴 및 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고도의 다용도 (Advanced and Versatile) 툴로, 낮은 왜곡 수준에서 뛰어난 해상도로 마스크를 만들 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 높은 신뢰성 있는 스캐닝 스테이지로 제작되어 고온 상태에서도 뛰어난 속도와 높은 위치의 정확성을 제공합니다. 웨이퍼 표면을 가로 질러 점대점 스캐닝 또는 순환 스캐닝을 적용하도록 설계되었습니다. 포함 된 작업 필드는 최대 120mm입니다. 최대 6 인치 크기의 기판을 수용 할 수 있으며, 다이 패턴화 또는 웨이퍼 패턴화 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. NIKON NSR-SF120의 이상적인 사용 사례에는 DRAM, 리소그래피 마스크 제작, 접촉 노출 및 납북, 마스크 검사 및 미세 마스크 노출과 같은 응용 프로그램이 포함됩니다. NSR SF 120은 초고속, 저왜곡 스캐닝 기능을 제공하며 최대 스캐닝 속도는 0.5/초입니다. 이를 통해 고해상도 인쇄를 달성할 수 있습니다. 또한, 통합 제어 시스템 (Integrated Control System) 은 빠른 속도로 다양한 패턴 데이터를 처리 할 수 있습니다. 또한 APR (Automatic Pattern Recognition) 시스템은 타의 추종을 불허하는 해상도를 보장하기 위해 가장 적합한 배율 목표 조건을 자동으로 설정하는 APR (Automatic Pattern Recognition) 시스템을 갖추고 있습니다. NSR-SF120 은 마스크 등록을 단순화하여 정확한 프로세스 및 생산량 증대를 보장합니다. 빠른 마스크 정렬 시간 (수동 설정에 비해 정렬 시간 90% 단축) 이 특징입니다. NIKON NSR SF 120의 낮은 온도 증가는 낮은 온도에서 형성된 패턴을 보장합니다. 이렇게 하면 왜곡이 줄어들고 품질과 마크 해상도가 향상됩니다. NSR SF120 은 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 경제적인 툴입니다. 스테퍼는 사용하기 쉽고 긴 학습 곡선이 필요하지 않습니다.