판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293818225

NIKON NSR SF120은 포토 마스크 제작, 직접 쓰기 반도체 리소그래피 및 기타 산업 응용 프로그램을 위해 설계된 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. SF120 은 매우 복잡한 패턴을 최적의 정확도로 생산할 수 있도록 초고해상도 (최소 0.28nm) 를 제공합니다. 이 기계는 기기의 소형화를 수용하고 더 복잡한 모양과 크기를 수용하도록 설계된 고급, 완전 프로그래밍 가능한 웨이퍼 (wafer) 테이블을 갖추고 있습니다. 200mm 웨이퍼 플리퍼가 장착되어 있어 수동 개입 없이 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. 또한, 이 기계에는 NIKON High NA 렌즈 (NA 0.7) 가 장착되어 있어 최고 수준의 해상도와 이미징에 가장 집중할 수 있습니다. 설계 측면에서 NIKON NSR-SF120에는 2 단계 광학 시스템이 있으며, 왜곡을 줄이고 패턴 충실도를 개선하도록 설계되었습니다. 또한 스텝퍼 (stepper) 에는 정렬 오류를 정확하고 신속하게 파악하고 해결할 수 있는 고급 정렬 (advanced alignment) 기능이 있으며, 이를 통해 처리량을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계는 또한 높은 정확도 자동 초점 (auto-focus) 기능을 갖추고 있으며 정착 시간을 줄이고 노출 시간을 단축하기 위해 특별히 설계된 고속 스테퍼 셔터 (stepper shutter) 를 갖추고 있습니다. NSR SF 120은 또한 고압 노출로부터 연산자와 장치를 보호하는 로드 잠금 챔버 (load-lock chamber) 와 같은 고급 안전 측정 (advanced safety measure) 을 포함하므로 신뢰성이 높습니다. 또한 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 사용자는 시스템 작업을 관리하고 모니터링할 수 있습니다. 스테퍼는 2 개의 piezo-electric 기반 작업을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 처리량과 반복 가능성을 향상시킬 수 있습니다. 또한 임베디드 이미지 프로세서 (Embedded Image Processor) 를 통해 실시간 피드백을 제공하고 이미지 품질을 향상시킬 수 있습니다. 요약하면, NSR-SF120은 포토 마스크 제작, 직접 전 반도체 리소그래피 및 기타 산업 응용 프로그램을 위해 설계된 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 최소 해상도는 0.28 nm, 고급 정렬 기능, 높은 정확도 자동 초점 기능 및 고속 스테퍼 셔터를 갖추고 있습니다. 또한, 기계는 고급 안전 측정 (advanced safety measures) 과 로드 잠금 챔버 (load-lock chamber) 를 포함하므로 신뢰성이 높으며 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스가 있습니다. 2 개의 piezo-electric-based operations는 처리량과 반복성을 높이고, 임베디드 이미지 프로세서는 실시간 피드백 및 이미지 품질을 제공합니다.