판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293757652

ID: 293757652
빈티지: 2003
i-Line stepper 2003 vintage.
NIKON NSR SF120은 사용자에게 고품질, 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 매우 정밀하고 반복 성으로 웨이퍼 (wafer) 표면을 정확하게 노출하도록 설계되었습니다. 그 결과, NIKON NSR-SF120은 전자 부품 및 반도체 장치 제작 산업뿐만 아니라 연구, 개발, 실험실 응용 프로그램에서 일반적으로 사용됩니다. NSR SF 120은 4 "및 6" 웨이퍼 크기를 모두 지원하며 4 "또는 6" 정렬자가 더 큰 웨이퍼 크기를 위해 함께 작동합니다. 정렬기는 각각 이중 정렬 장비 덕분에 한 번에 2 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR SF 120은 단일 웨이퍼에 동일한 회로 패턴을 최대 4 개까지 노출하여 다중 복제 (multivid duplicating) 기능을 제공합니다. 이 스테퍼에는 높은 정확도를 위해 큰 공중 이미지 필드가 있습니다. 예를 들어, NSR-SF120은 280nm 해상도의 대형 100mm x 85mm 필드를 제공하여 사용자가 웨이퍼를 정렬하는 데 필요한 시간을 최소화할 수 있습니다. 고급 회전 단계도 마찬가지로 +/-3도 대각선 스테핑 범위를 제공합니다. NSR SF120은 NIKON 5X Exposure System에 의해 구동되며, 이는 정밀도를 유지하면서 처리량을 증가시키는 5X 감소 장치를 제공합니다. 결과적으로, 사용자는 주어진 작업에 더 빠른 노출, 더 빠른 스캔 시간을 기대할 수 있습니다. 5X 머신은 기계적 (mechanical) 및 광 (optical) 축을 통해 구성되며, 설계를 통해 다양한 프로세스 요구를 처리하기에 충분한 초점 (focus) 필드가 가능합니다. 빠른 속도 외에도 NIKON NSR SF120은 사용자에게 자세한 웨이퍼 관리 기능을 제공합니다. 사용자는 웨이퍼 스택을 모니터링하고, 각 웨이퍼의 이동과 회전을 추적하고, 보고서 로그에 액세스할 수 있습니다. 이 기계에는 지능형 청소 (Intelligent Cleaning) 및 모니터링 시스템 (Monitoring System) 도 포함되어 있습니다. 마지막으로, NIKON NSR-SF120 은 다양한 호환성 및 접속 옵션을 제공하므로 다른 디바이스 및 시스템에 쉽게 연결할 수 있습니다. 다양한 소프트웨어 프로그램, 원격 운영, 프로그래밍 가능한 운영, 포괄적인 진단 소프트웨어 (diagnostic software) 기능을 제공합니다. 전반적으로 NSR SF 120 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 강력하고 안정적인 시스템으로, 편리한 웨이퍼 관리를 위한 다양한 고급 기능뿐만 아니라, 정확하고 뛰어난 성능을 제공합니다. 반도체 소자 제작에서 연구 개발 (Research and Development) 에 이르기까지 광범위한 응용 분야에 이상적입니다.
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