판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293639081
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NIKON NSR SF120은 4축, 전체 필드 단계 및 반복 웨이퍼 스테퍼입니다. 높은 정확성과 비용 효율적인 웨이퍼 처리 (wafer processing) 기능을 통해 사용자가 웨이퍼 프로세스에서 가장 높은 수율을 얻을 수 있도록 설계되었습니다. NIKON NSR-SF120 은 이전 세대보다 정확하고, 빠르고, 안정적이며, 복잡한 웨이퍼를 처리할 때 전례없는 처리량을 달성할 수 있습니다. NSR SF 120에는 150mm/sec가 장착되어 있습니다. 직접 구동 스테이지 및 열 보상이 가능한 고정밀 포지셔닝 장비를 통해 정밀한 위치화 (positioning) 및 0.01 µm 미만의 스테이지 정확도를 구현할 수 있습니다. NIKON NSR SF 120은 또한 고급 옵티컬 시스템 (Optical System) 을 갖추고 있어 스테퍼가 고해상도와 깨끗한 가장자리로 이미지를 제공할 수 있습니다. 첨단 원격 중심 광학 (Advanced Telecentric Optics) 은 또한 넓은 시야와 최적화 된 조명을 가능하게하여 높은 명암으로 이어집니다. NSR SF120 의 전체 필드 스테퍼 설계는 탁월한 처리량과 사용 가능한 이미징 툴의 최대 활용도를 제공합니다. 고급 (Advanced) 소프트웨어는 기판 및 프로세스 기술에 대해 다양한 운영 모드를 제공하고 고급 자동화, 프로세스 정확도, 신뢰성을 위한 도구를 제공하는 완벽한 사용자 정의 (full customization) 기능을 제공합니다. NSR-SF120 은 다른 시스템과 통합되어 웨이퍼 처리를 최대화할 수도 있습니다. NIKON NSR SF120에는 자동 조향 기능, 오프라인 이미징 도구, 통합 레이저 프로파일러 등 모든 고급 모니터링/제어 시스템 제품군이 함께 제공됩니다. 이 장치에는 라이트 커튼, 모션 컨트롤 시스템, 풋 스위치 잠금 장치 등의 표준 안전 기능도 포함되어 있습니다. NIKON NSR-SF120 은 Wafer 프로세싱의 모든 단계를 완벽하게 제어하여 최고 수준의 품질과 수율을 보장합니다. NSR SF 120 의 고급 기능은 프로세스 개발 및 운영 환경에 이상적인 솔루션입니다. 고급 광 기계 및 포지셔닝 툴은 여러 기판 홀더와 결합하여 NIKON NSR SF 120 을 강력한 웨이퍼 처리 툴로 만듭니다. NSR SF120 은 뛰어난 안정성, 정확성, 사용자 친화적 소프트웨어를 제공하며, 모든 Wafer 처리 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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