판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293618791
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ID: 293618791
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
i-Line stepper, 12"
SMIF
No FOUP
SEMES KSPIN12 Track system
HP / HEWLETT-PACKARD DS10 Workstation
Module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Utility:
SR10MP 4IL2 Lens (NA: 0.50 ~ 0.62)
OSRAM HBO 5004 W/NIL Lamp for laser
Missing parts:
RL Buffer robot and controller
Morocco board
Piezo drive unit
FW Robot
(2) Blind Y
(2) Blind X
WL Box
DMCC UIP NSR Server workstation
Operating system: Windows
Hard Disk Drive (HDD) has been removed
2014 vintage.
NIKON NSR SF120은 반도체 제조 및 칩 제조에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 시간당 최대 200mm 웨이퍼를 처리하는 정렬 스테퍼입니다. 이 제품은 NIKON 의 유명한 2축 정확도와 뛰어난 이미징 성능과 고급 정렬 알고리즘을 결합하여 오버레이 정확도를 높였습니다. 이 반도체 스테퍼는 오늘날 가장 까다로운 웨이퍼 (wafer) 제작 환경의 요구를 충족시키기 위해 고급 구성 요소로 설계되었습니다. 마스크 대 마스크 정렬이 가능하며, 단일 위치 재정의를위한 기본 정렬 기능이 있습니다. 낮은 수준의 선형 오류 및 오버레이 오류 (생산 안정성 제공) 에서 높은 처리량을 제공합니다. NIKON NSR-SF120은 3 칩 배열 이미지 캡처 시스템을 갖춘 이미징 장비를 사용하며, 안정적이고 안정적인 챔버 내에 비동기적으로 장착됩니다. 이 이미징 장치에는 높은 NA 조명기 (Flumination Machine) 가 있으며, 독특한 NIKON 광학 디자인이 특징이며 마스크 왜곡없이 고품질 이미징을 캡처 할 수 있습니다. 또한 독점 소프트웨어를 사용하여 챔버 내의 부품을 효율적이고 정확하게 식별하고 정렬합니다. NSR SF 120의 뛰어난 설계로 포토리스 (photoresist) 패턴화 및 고정밀도 오버레이 정렬과 같은 포토리토그래피 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 고속, 높은 정확도 기능으로 인해 광학 패턴 체크, 게이트 및 콘택트 홀 패턴 묘사, 산란 측량 및 마스크 정렬이 가능합니다. NIKON NSR SF 120은 광범위한 운영 요구에 이상적인 견고하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 200mm 또는 300mm 웨이퍼 모두에 대해 최대 4 인치의 로드를 처리 할 수 있으므로 가장 어려운 생산 과제를 처리하는 데 적합합니다. 또한, 고급 프로세스 제어를 통해 탁월한 현장 간 안정성과 생산성을 제공합니다. 안전성 측면에서 볼 때, NSR SF120 은 안전하고 안정적인 운영 환경, 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 안전한 작동을 보장하기 위해 다중 구속 시계 도구 (multi-restraint clocking tool) 와 신뢰할 수있는 빔 스톱 배플 가드 (beam stop baffle guard) 가 장착되어 있습니다. 또한, 고급 대기 자산은 유휴 모드에있을 때 낮은 전력 소모를 보장합니다. 전반적으로 NSR-SF120 은 가장 까다로운 제작 작업을 위해 설계된, 안정적이고 강력한 반도체 스테퍼입니다. 3 칩 어레이 이미징 모델과 고급 정렬 알고리즘은 처리량이 높고 오버레이 정확도가 뛰어납니다. 또한 다양한 안전 (Safety) 및 공정 제어 (Process Control) 기능을 제공하여 소형 및 대형 칩 제조업체에 적합합니다.
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