판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293606907

NIKON NSR SF120
ID: 293606907
i-Line stepper.
NIKON NSR SF120은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에서 고정밀 포토 리토 그래피 (photolithography) 프로세스를 가능하게하도록 설계된 정교한 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 설계는 특수 렌즈 (lense) 와 노출 시스템 (exposure system) 을 사용하여 복잡하고 정확한 패턴을 생산할 수 있습니다. SF120 은 공간 제약과 청소 (cleanroom) 환경에서도 장착 및 작동에 적합한 컴팩트한 설계를 제공합니다. 스테퍼는 진동을 최소화하고 정확성을 유지하기 위해 만들어졌습니다. 거의 회절 제한 렌즈 (diffraction-limited lenses) 및 다른 해상도와 크기에 맞게 최적화된 렌즈를 포함하여 다양한 노출 렌즈를 사용할 수 있습니다. 또한 노출 장비에는 독점적 인 에너지 절약 노출 모드가 포함됩니다. SF120은 단순화 된 미니 환경을 갖추고 있습니다. 이를 통해 정전기를 줄이면서 높은 반복성과 정확성을 얻을 수 있습니다. 이 플랫폼에는 노출 모니터링 시스템 (Exposure Monitoring System) 이 장착되어 있어 실시간으로 노출 상태를 지속적으로 모니터링하고 수정합니다. 또한, 스테퍼에는 자동 노출 매개변수 (automated exposure parameters) 가 장착되어 있어 최적의 성능을 위해 노출 조건을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 노출 매개변수를 조정하는 데 걸리는 시간과 복잡성이 줄어듭니다. NIKON NSR-SF120 은 사용 가능한 최첨단 이미징 시스템을 갖추고 있어 이미지 처리 (image processing) 및 패턴 데이터 분석을 수행할 수 있습니다. 이 고급 이미징 장치 (Advanced Imaging Unit) 는 고속, 고해상도, 24메가픽셀 이미징 머신으로 설계되어 중요한 위상 이동 (Phase Shift) 데이터를 캡처하고 분석할 수 있습니다. 또한, 임계 정렬 정확도를 향상시키기 위해 더블 슬릿 (double slit) 디자인과 오염 관련 결함을 줄이기 위해 방진 셔터를 갖추고 있습니다. NSR SF 120은 사진 촬영 기능 외에도, 결함 검사에는 여러 가지 기능이 있습니다. 이 도구에는 고급 이미지 분석 및 다이 레벨 결함 감지 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 베이킹 시스템 (Baking Systems) 및 적외선 LED 냉각 시스템 (Infra-Red LED Cooling System) 을 포함한 여러 가지 추가 기능이 제공되어 처리 시간 연장을 지원합니다. NSR-SF120은 매우 정확하고 복잡한 패턴 생산을 지원하기 위해 만들어진 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 입니다. 고급 이미징 자산 및 정교한 미니 환경 설계로 정확하고 반복 가능한 노출이 가능합니다. 또한 결함 검사 기능은 최고 품질의 제품을 보장합니다.
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