판매용 중고 NIKON NSR SF120 #293589139

NIKON NSR SF120은 마이크로 리토 그래피 프로세스에 사용되는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 제품은 실리콘 및 기타 반도체 기판에서 고품질 미세 구조를 생산하도록 설계된 고급 장비입니다. 이 기계는 고급 광학을 사용하며 광학 분야가 넓습니다. 35mm 시야가 있으며, 이는 동급 최대의 규모입니다. 광원은 200mm 레이저 (laser) 이며, 이 NIKON 제품은 반사 및 플레어를 줄이기 위해 광학 요소의 가장자리에 코팅을합니다. 현미경 "렌즈 '는 또한 표본 의 명백 한 형상 을 제공 하기 위하여" 코우팅' 된다. NIKON NSR-SF120에는 6 축 동력 스테이지가 장착되어 있으며, 이는 0.25m 해상도로 기판에 대한 정확한 위치 지정을 가능하게합니다. 스테퍼에는 환경 진동을 최소화하기 위해 5 축 공기 흐름 시스템이 있으며, 이를 통해 서브 미크론 초점 공차를 달성 할 수 있습니다. NSR SF 120은 광범위한 기판을 수용하도록 설계되었으며, 직경이 최대 450mm 인 기판을 가공할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 기판의 안전한 진공 보유 (secure vacuum holding) 를 제공 할 수 있으며, 정확한 고속 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 이 장치의 포괄적인 자동화는 안정적이고 효율적인 성능을 보장합니다. 프로그램 가능한 모터 컨트롤러와 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 를 내장하여 다양한 응용 프로그램의 단계와 레시피를 입력, 관리할 수 있습니다. 또한 스테퍼를 완벽하게 제어하기위한 모바일 및 고정 로봇 (Stationary Robotic) 구성 요소가 있습니다. NSR SF120에는 자동 초점 조정 및 정렬 시스템도 있습니다. 이 도구는 고급 선 포커싱 알고리즘을 사용하여 기판 서피스에서 여러 선의 모서리 포커스 (edge focus) 를 측정한 다음 이 정보를 사용하여 필요한 경우 수정합니다. NIKON NSR SF 120은 광범위한 마이크로 리토 그래피 애플리케이션에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 인체 공학적으로 설계되었으며 대량 산업 생산에 적합합니다.