판매용 중고 NIKON NSR SF110 #293821683

NIKON NSR SF110은 대용량 반도체 생산을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 시스템은 다이오드 레이저 조명기가 장착 된 47 nm 스캐너로 구동되며 직경 200mm (wafer) 까지 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. 웨이퍼 크기는 장치의 고정밀도, 저속도 포지셔닝 (positioning) 기술에 의해 조정되어 최고 품질의 제품을 사용할 수 있습니다. NSR SF110에는 정확도가 1µm 이상인 자동 오버레이 정렬 장치 (Automatic Overlay Alignment Machine) 가 장착되어 있으며 초고해상도 0.1äm도 제공합니다. 처리량을 향상시키기 위해 우수한 웨이퍼 로딩 도구 (wafer loading tool) 와 고속 웨이퍼 회전 메커니즘도 포함됩니다. 또한, 이 에셋에는 웨이퍼 스테이지 및 프로세스 조건에 대한 실시간 모니터링을 위한 Wafer Stage Position Watcher 및 Process Intensity Monitor가 있습니다. NIKON NSR SF110에는 레시피 데이터의 프로세스 자동화 및 분석을위한 통신 인터페이스인 WiRED (Wireless Replacement Electronic Device) 와 같은 고급 프로세스 컨트롤이 있습니다. 또한 다양한 온보드 Scanner Processor and Controller (SPC) 와 강력한 DA (Die Aligner) 를 포함하여 패턴 웨이퍼의 가시성과 분석을 제공합니다. SPC는 고해상도 디지털 프로세싱, 이미지 관리, 웨이퍼 처리 및 분석을 위한 데이터 스토리지 기능을 제공합니다. PSR (Pattern Search and Recognition) 알고리즘은 웨이퍼의 패턴을 신속하게 분석하고 인식하는 데 사용됩니다. NSR SF110에는 노출 도구에 사용하기 전에 레티클을 측정하고 정렬하는 데 사용되는 전자 레티클 정렬 모델 (Electronic Reticle Alignment Model, ERS) 도 장착되어 있습니다. 이 장비는 0.5äm 미만의 정렬 정확도를 가질 수 있습니다. 이 장치 에는 고유 한 검사 "시스템 '도 포함 되는데, 이 장치 는" 웨이퍼' 의 결함 을 감지 할 수 있으며, 어떤 결함 이 지정된 한계 를 초과 할 경우, 자동적 으로 노출 순서 를 중지 할 수 있다. NIKON NSR SF110에는 레이저 방사선의 안전 인터 록 (safety interlock), 광경로의 독 방지 커버 (Poison Prevention Cover) 및 잠재적 위험 지역에 대한 안전 스티커 경고와 같은 다양한 안전 기능이 있습니다. 컴퓨터에도 경보기 (alarm machine) 를 설치하여 가능한 문제가 있는 경우 연산자에게 경보를 보냅니다. NSR SF110 (NSR SF110) 은 노출된 웨이퍼를 매우 정밀하고 엄격한 품질 제어를 제공하는 반도체 업계의 필수 도구입니다.