판매용 중고 NIKON NSR SF110 #293817935
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ID: 293817935
i-Line stepper
Numerical Aperture (NA): 0.52
Resolution: 350 nm
DCO: 45
Throughput (WPH): 100~120.
NIKON NSR SF110 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 복잡한 마이크로 구성 요소의 뛰어난 이미지를 생성하도록 설계된 고정밀 고속 노출 도구입니다. 이 초정밀 기기는 직경이 최대 8 인치 인 웨이퍼 기판을 처리하도록 조정되었습니다. 고품질 이미징과 반도체 프로세싱 (processing) 을 가능하게 하는 다양한 고급 (advanced) 기능을 탑재했다. NSR SF110 은 일련의 고급 요소 (예: INS (Integrated Inertial Navigation Equipment) 를 갖춘 매우 정확한 단계, 고급 노출 광학) 로 구성됩니다. 이러한 요소는 함께 작동하여 웨이퍼 스테퍼 속도를 손상시키지 않고 뛰어난 이미징 정확도를 보장합니다. 또한, 시스템에는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있으며, 최대 4.5m (서브미크론 해상도) 의 이미지를 캡처 할 수 있습니다. NIKON NSR SF110의 고급 스테이지 시스템은 고급 정렬 및 정렬 안정성도 제공합니다. 통합된 "중복" 정렬 장치를 사용하면 빠르고 정확한 교정이 가능합니다. 이로써 이미징 머신 (Imaging Machine) 이 고속 (High Speed) 으로 수행해야 할 때에도 잘못 정렬되지 않습니다. 또한 NSR SF110 은 최대 8 개의 작업을 동시에 처리할 수 있습니다. 이러한 프로그램을 통해 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 여러 보기에서 스캔 (Scanning) 을 관리하고 여러 작업 또는 다발을 관리할 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 NIKON은 높은 처리량 조건에서도 매우 상세한 이미지를 만들 수 있습니다. NIKON NSR SF110에는 강화된 보안 감각도 포함되어 있습니다. 데이터 로그북 (Data Logbook) 을 제공하여 완벽한 개인 정보 보호를 보장하며, 무단 액세스를 방지하는 고급 암호화 툴도 제공합니다. 또한, 자산은 고급 연마를위한 옵션 모래 분해 기능으로도 사용할 수 있습니다. 생산 속도 측면에서, NSR SF110 은 최대 1/10 초의 프로그램 가능한 노출 시간을 통해 향상된 처리량을 제공합니다. 또한 하루에 최대 600 건의 노출을 제공 할 수 있습니다. 이러한 효율성은 대용량 생산 상황에 이상적입니다. 마지막으로 NIKON NSR SF110 은 다양한 유연성을 제공하는 통합 모델입니다. 기존 광학 시스템과 호환되며, 다양한 노출 옵션을 제공합니다. 다양한 웨이퍼 직경을 처리 할 수 있으며, 표면 특성이 다른 반도체에 맞춰져 있습니다. 또한, 특정 생산 요구에 맞게 기능을 사용자 정의할 수 있습니다.
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