판매용 중고 NIKON NSR SF110 #293655797

NIKON NSR SF110 은 고급 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 오늘날의 마이크로 리토 그래피 애플리케이션에 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 더 적은 결함으로 더 높은 처리량을 가능하게하도록 설계되었습니다. NSR SF110 은 NIKON NSR 의 스텝퍼 제품인 플래그십 (flagship) 제품으로, 광학 석판화 기술의 최신 발전을 제공합니다. NIKON NSR SF110 은 다양한 기능과 유연성을 제공하여 다양한 마이크로 리토 그래피 (micrelithography) 프로세스에 적합합니다. 스테퍼에는 최적화된 NA (수치 조리개) 가 0.78 인 고급형 고성능 주 노출 조명 장비가 장착되어 있습니다. 또한 고성능 측정용 고해상도 간섭계 (Interferometric Contrast System) 와 자동 오류 수정 기능이 있는 장애 감지 장치 (Fault Detection Unit) 를 갖추고 있습니다. NSR SF110 (NSR SF110) 의 주요 기능은 2 단계 베이스로 웨이퍼 스테이지의 기울기 및 회전을 허용하며, 노출 렌즈에 맞추기 쉽습니다. 스테퍼는 또한 미세 무대 움직임을 지원하여 웨이퍼의 정확하고 정확한 처리를 제공합니다. NIKON NSR SF110은 또한 30 개 이상의 내부 매개변수의 효율적인 자동 밸런싱을 갖추고 있으며, 각 웨이퍼 노출에 대한 최적의 설정 조건을 제공합니다. 또한, 노출 광도를 조정하기 위한 자동 토닝 스케일 머신 (automatic toning scale machine) 을 갖추고 있어 더 적은 결함으로 노출 정확도를 높일 수 있습니다. NSR SF110 은 쉽게 작동할 수 있도록 액정 디스플레이 (Liquid Crystal Display) 패널을 갖춘 고성능 컴퓨터 제어 장치로 구동됩니다. 저열 드리프트 (drift) 와 진동 유발 광학 오류를 최소화하는 진동 감소 기능이 있습니다. 이 스테퍼는 또한 노출 보고서 생성 도구 (Exposure Report Generation Tool) 를 제공하여 사용자에게 프로세스를 종합적으로 개괄적으로 설명합니다. NIKON NSR SF110 웨이퍼 스테퍼는 광범위한 고급 기능을 결합하여 인간 개입을 최소화하면서 효율적인 웨이퍼 노출을 가능하게 합니다. 고급 기능, 유연성, 뛰어난 성능으로 인해 micrelithography 응용 프로그램에 적합한 선택이 가능합니다.