판매용 중고 NIKON NSR SF100 #293614940

NIKON NSR SF100
ID: 293614940
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Stepper, 8" 2001 vintage.
NIKON NSR SF100 웨이퍼 스테퍼는 반도체 웨이퍼에서 매우 정확하고 고해상도 IC (integrated circuitry) 회로 이미지를 생성하도록 설계된 고급 장치입니다. SF100은 특허를받은 이중 가변 이미징 광학 장비를 갖추고 있으며, 다양한 이미징 솔루션을 제공하는 2 개의 렌즈가 결합되어 있습니다. 광학 시스템은 매우 높은 수치 조리개 (N.A) 를 가능하게하여 선폭 제어와 뛰어난 필드 깊이를 제공합니다. 또한 전체 단계 로드 및 언로드 기능을 제공하며, 웨이퍼 왜곡 (wafer distortion) 을 최소화하면서 용량이 매우 적은 이미징 기능을 제공합니다. SF100은 높은 스캔 속도, 높은 정확도, 신뢰성, 낮은 이미지 소음을 지원하는 모터 구동 스캐닝 장치를 통합했습니다. 스테퍼는 다양한 노출 모드를 사용할 수 있으며, 우수한 선형성 수정 기능을 제공합니다. 또한 우수한 오버레이 등록과 패턴 배치 제어 (control over pattern placement) 기능을 제공하여 사용자에게 이미지를 완벽하게 제어할 수 있습니다. NIKON NSR-SF100 은 사용, 프로그램, 유지 보수가 용이한 완전 자동화 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 데이터 교환을위한 온보드 컨트롤러 (on-board controller) 와 웨이퍼 처리 및 자동화 프로세스용 소프트웨어 패키지 (software package) 가 포함되어 있습니다. 이 도구를 사용하면 시스템 설정과 기능을 손쉽게 프로그램, 수정, 분석할 수 있으며, 설정, 기록, 쿼리 기능을 구성할 수 있습니다. 전반적으로 NSR SF 100 웨이퍼 스테퍼는 높은 정확도, 안정성, 성능을 요구하는 고객에게 적합한 선택입니다. 이 제품은 기능과 경제성의 완벽한 조화를 이루며, 사용자에게 웨이퍼 이미징 (wafer imaging) 을 위한 이상적인 솔루션을 제공합니다.
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