판매용 중고 NIKON NSR SF100 #132126

NIKON NSR SF100은 고급 기능의 서브 미크론 리소그래피를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 스테퍼는 고급 정렬 및 최적화 기능을 제공하여 최고 품질의 석판화 결과를 보장합니다. NIKON NSR-SF100 이중 액츄에이터 XY 스테이지 장비를 사용하면 웨이퍼에 패턴 배치의 정확성과 반복 가능성이 높습니다. 이 스테이지에는 1 äm 이동 해상도와 ± 2 wem 정렬 정확도가 장착 된 다이 얼라이너 광학 시스템도 포함되어 있습니다. 또한 스테퍼에는 자동 정렬 피드백 장치 (Automatic Alignment Feedback Unit) 가 있으며, 이는 가장자리 배치 오류를 실시간으로 정확하게 감지하고 수정하여 최고 품질의 리소그래피 결과를 보장합니다. NIKON SF100 웨이퍼 스테퍼는 다양한 노출 조건을 지원하고 탁월한 노출 (E: R) 비율을 통해 높은 생산성을 제공하는 고급 조명기를 사용합니다. 또한 스테퍼에는 고속 비접촉 웨이퍼 (non-contact wafer) 로드 및 언로드 도구가 장착되어 있어 빠른 전체 웨이퍼 로드 및 언로드 주기가 가능합니다. NSR SF 100은 웨이퍼 당 400mm 최대 웨이퍼 크기와 최대 36 개의 노출 필드를 제공합니다. SEL Design Expert 및 SEL Framework 소프트웨어와 함께 작동하여 지역 중첩 수정 및 프로세스 최적화 지원을 위한 포괄적인 툴 세트를 제공합니다. 향상된 TIS (total imaging asset) 특성을 통해 NIKON NSR-SF 100 웨이퍼 스테퍼는 고급 장치 제조 프로세스에서 가장 높은 석판 결과를 제공합니다. NSR-SF100 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 서브미크론 리소그래피 프로세스에 이상적인 기능을 제공합니다. 광범위한 에너지 제어 모델과 정확한 저소음 에너지 스캐닝 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 스테퍼는 이미지 형식 지원, 무제한 광학 장비 매개변수 (optical equipment parameters) 및 고속 작동 속도 (operating speed) 를 제공하여 정확성을 저하시키지 않고 최고 처리량을 지원합니다. 전반적으로 NIKON NSR SF 100은 고급 석판화 스테퍼로, 가장 까다로운 연구 및 제조 응용 프로그램에 뛰어난 성능과 뛰어난 석판화 안정성을 제공합니다. 스테퍼의 고급 기능 (advanced features) 과 높은 정확성 (high accuracy) 은 서브미크론 리소그래피 (submicron lithography) 프로세스에서 우수한 결과를 얻으려는 기업에게 이상적인 선택입니다.