판매용 중고 NIKON NSR S625E #293817900
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ID: 293817900
ArF Immersion scanner
Numerical Aperture (NA): 1.35
MMO: 2.5
Throughput (WPH): 280.
NIKON NSR S625E는 대용량 반도체 제조를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 최첨단 도구는 정밀 석판화 (precision lithography) 와 고급 이미징 기능을 결합하여 탁월한 성능과 안정성을 갖춘 최첨단 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. NSR S625E는 300mm 웨이퍼 (서브 마이크론 해상도) 에서 최적의 패턴화 결과를 얻으려는 반도체 제조업체를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다. 니콘 NSR S625E (NIKON NSR S625E) 의 핵심에는 전체 시야에서 뛰어난 이미징 성능을 제공하는 정교한 프로젝션 렌즈 시스템이 있습니다. 이 장치에는 고정밀 렌즈 어셈블리 (high-precision lens assembly), 고급 수차 수정 기술 (advanced aberration correction technologies) 및 독점 이미징 알고리즘이 장착되어 있어 복잡한 패턴을 최소 왜곡과 높은 충실도로 웨이퍼 표면에 정확하게 전송할 수 있습니다. NSR S625E는 DUV (Deep Ultraviolet) 리소그래피 애플리케이션을위한 고급 엑시머 레이저 기술을 포함하여 다양한 파장 옵션을 갖춘 강력한 광원을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면, 이 기계는 로직 장치 (logic device) 에서 메모리 칩 (memory chip) 에 이르기까지 다양한 패턴화 요구 사항을 지원할 수 있으며, 뛰어난 해상도와 오버레이 제어가 가능합니다. NIKON NSR S625E는 또한 노출 중 정확한 웨이퍼 포지셔닝 및 초점 제어를 지원하는 고급 정렬 및 자동 초점 시스템을 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 패턴이 올바르게 정렬되고 웨이퍼 (wafer) 표면에 선명하게 초점을 맞출 수 있으며, 이는 타이트한 공차로 고품질의 석판화 (lithographic) 결과를 얻을 수 있습니다. 뛰어난 이미징 기능 외에도 NSR S625E 는 반도체 제조 공정을 간소화하는 다양한 생산성 향상 (productivity-enhancing) 기능을 제공합니다. 여기에는 빠른 웨이퍼 이동을위한 고급 가속 알고리즘, 빠른 레티클 교환을위한 정교한 레티클 처리 도구 (reticle handling tool), 간편한 자산 운영 및 제어를 위한 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 포함 된 고속 웨이퍼 스테이지가 포함됩니다. 또한 NIKON NSR S625E 는 진화하는 제조 요구 사항을 충족할 수 있는 확장성과 유연성을 지원하는 모듈식 (modular) 아키텍처로 설계되었습니다. 이 모델은 인라인 프로세스 모니터링을 위한 고급 도량형 도구 (advanced metrology tools for in-line process monitoring) 또는 동적 수차 수정을위한 적응 광학 (adaptive optics) 과 같은 추가 기능으로 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 전반적으로 NSR S625E 는 높은 생산성과 효율성을 지닌 탁월한 패턴화 (patterning) 결과를 얻으려는 반도체 제조업체를 위한 최첨단 솔루션입니다. 고급 이미징 기술, 정밀 엔지니어링, 종합적인 기능을 갖춘 NIKON NSR S625E 는 차세대 반도체 디바이스를 생산하는 데 적합하며, 최고 수준의 성능과 안정성을 필요로 합니다 (영문).
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