판매용 중고 NIKON NSR S620D #9401370

NIKON NSR S620D는 NIKON이 개발한 고성능 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 제조 공정에 비해 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. NIKON NSR-S620D 는 고급 스캐닝 기술 및 Optic 을 사용하여 하이엔드 마이크로칩 이미징 및 에칭에 필수적인 성능과 유연성을 제공합니다. NSR S620D는 6축 스테이지 및 기울기 처리 기능이 있는 완전 자동화 장비를 사용하여 설계되었습니다. 이 시스템은 다양한 Wafer 크기를 처리할 수 있는 최고의 유연성을 제공하며, 여러 Wafer 장착 구성을 처리할 수 있습니다. NSR-S620D는 광학 리소그래피, 포토마스크 노출, 에칭 및 일시적인 플라즈마 노출로부터 광범위한 노출 응용 프로그램을 지원하도록 설계되었습니다. NIKON NSR S620D는 최대 단계 정확도 2.5m에 달하는 강력한 포지셔닝 장치를 갖추고 있습니다. NIKON NSR-S620D의 6축 단계 및 기울기 (tilt) 기능을 사용하면 웨이퍼의 정확한 위치를 지정하고 균일 한 노출 수준을 보장할 수 있습니다. 최고 성능 표준을 유지하기 위해 NSR S620D 는 각 노출 과정에서 렌즈와 웨이퍼의 3 차원 자동 정렬 (Auto Alignment) 기능을 갖추고 있습니다. 이 광학 위치 지정 장치 (Optical Positioning Machine) 는 일련의 카메라와 참조 미러를 사용하여 높은 정밀도를 달성합니다. 또한 NIKON 고급 레이저 정렬 기술을 사용하여 높은 위치 정확성을 보장합니다. NSR-S620D 의 고정밀 (high-precision) 광학 이미징 툴은 전체 시야에서 최대 0.5 m 해상도를 제공할 수 있습니다. 이 뛰어난 성능은 NIKON 독점 이미징 광학과 강력한 조명 소스의 통합을 통해 달성됩니다. NIKON NSR S620D 는 또한 스윕 레이저 전력 조정 자산 (swept laser power adjustment asset) 으로 구축되어 전체 노출 매개변수에 걸쳐 최적의 균일 한 이미지를 제공합니다. NIKON NSR-S620D는 탁월한 이미징 품질 외에도, 효율성과 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 크기와 기능을 통해 시간당 최대 12 개의 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 또한, NSR S620D에는 깨끗하고 먼지가없는 환경을 보장하기 위해 내장 된 드라이 진공 청소기와 질소 퍼지 모델이 장착되어 있습니다. 전반적으로 NSR-S620D는 고급 웨이퍼 스테퍼로, 하이엔드 마이크로칩 이미징 및 에칭 프로세스에서 탁월한 정확성과 정확성을 제공합니다. 니콘 NSR S620D (NIKON NSR S620D) 는 신뢰성이 높고 효율적인 생산 프로세스를 제공하는 반도체 (semiconductor) 제조업체로서, 처리량을 향상시키고 우수한 결과를 제공하고자 합니다.