판매용 중고 NIKON NSR S620D #9198048

NIKON NSR S620D 시리즈 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제작을 위해 설계된 최첨단 광학 석판 장비입니다. 고도로 정확하고, 정밀하며, 레이저 기반 프로젝션 광학 시스템과 고급 하드웨어 기술을 사용합니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 새로운 세대의 고급 반도체 장치를 생산하기 위해 정확하고 신뢰할 수있는 리소그래피를 보장합니다. NIKON NSR-S620D의 특수 기능은 고급 Optics 장치 및 고급 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 입니다. 광학 기계는 두 개의 대조적 인 광학 서브 시스템 (저전압 및 고전압 투영 시스템) 으로 구성됩니다. 저전압 투영 도구 (low voltage projection tool) 는 스캐닝 성능이 좋은 반면, 고전압 도구는 깊은 포토 esist 프로세스에 적합합니다. 또한, 광학 투영 렌즈는 정확한 정렬 및 이미징을 위해 자동 초점 레일 에셋에 장착됩니다. GUI 는 사용자가 다른 매개 변수를 설정하고 쉽게 조정할 수 있도록 직관적이고 편리한 플랫폼을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼에는 2 마이크로 미터 이미징 정렬 정확도도 장착되어 있습니다. 미세 정렬, OAI (Off-Axis Inspection) 이미징 및 fiducial mark matching과 같은 자동 정렬 기능이 내장되어 있습니다. 또한 NSR S620D 시리즈의 설정을 사용자 정의하여 자체 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 최대 스캔 시야는 25mm x 24mm, 최대 해상도는 16nm, 최대 크기는 2 "입니다. 이를 통해 고급 IC 장치의 작은 기능에 고밀도 패턴을 구성 할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 고성능 코팅 시스템 및 스피너 (spinner) 와 완벽하게 호환되므로 복잡한 계층 회로를 만들 수 있습니다. NSR-S620D에는 하이엔드 IC 생산에 이상적인 몇 가지 다른 기능이 있습니다. 낮은 전기 자기 간섭 (EMI) 은 민감한 장치에 적합합니다. 또한 고정밀 모터와 옵틱을 사용하여 정확한 위치 및 이미징을 보장합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 내구성이 뛰어난 구성 요소로 구성되어 장기 사용을 견딜 수 있습니다. 전체적으로 NIKON NSR S620D는 뛰어난 이미징 정확성과 기능을 제공하는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고정밀도 옵틱, 자동 정렬 기능, 광시야각 등으로 인해 최고 수준의 품질로 최첨단 반도체 장치를 생산하는 데 적합합니다. 탁월한 설계와 견고한 설계로 인하여 모든 실험실이나 프로덕션 환경에서 장기적인 활용을 보장하는 데 필요한 내구성과 신뢰성 (안정성) 을 확보할 수 있습니다 (영문).