판매용 중고 NIKON NSR S610C #293817905

NIKON NSR S610C
ID: 293817905
ArF Immersion scanner Numerical Aperture (NA): 1.3 Resolution: 50 nm Throughput (WPH): 130.
NIKON NSR S610C는 고성능, 완전 자동화, 최고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 독점적 인 프로세스를 사용하여, 기존의 포토 리토 그래피 시스템 (photolithography system) 에 의해 타의 추종을 불허하는 정도로 고밀도 미세 패턴의 극도로 정확한 생산을 달성합니다. NSR S610C 는 세계에서 가장 강력한 이미지 전송 장비를 갖추고 있으며, 3D 멀티 레이어, 멀티 밸류 (multi-value) 노출을 통해 가장 복잡한 패턴의 높은 정확도를 생산할 수 있습니다. 짧은 웨이퍼 전송 시간 (wafer transport time) 은 생산 시간을 단축할 뿐만 아니라, 단일 사이클 내에서 고도로 통합된 컴포넌트를 생성할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 크기와 재료의 기판을 지원하므로 고밀도, 고화질 (high-fidelity) 생산에 이상적인 플랫폼입니다. NIKON NSR S610C는 매끄럽고 깔끔한 패턴, 균일 한 노출 분포 등 뛰어난 이미징 기능을 제공합니다. 또한, 정교한 웨이퍼 정렬 장치 (wafer alignment unit) 는 기판의 정밀 정렬을 가능하게하여, 잘못된 정렬의 가능성을 줄이고 원하는 패턴 설계를 잘 준수할 수 있도록 합니다. NSR S610C 에 통합된 우수한 레벨 러로 웨이퍼 표면에서 가장 미세한 결함 (예: 오염 된 영역, 외부 입자 손상) 까지도 감지할 수 있습니다. 이렇게 하면 생산 정확도가 향상되고, 원치 않는 색상 채도 (color saturation) 나 이물질로 인한 선 (line) 을 방지할 수 있습니다. NIKON NSR S610C 는 가장 까다로운 프로젝트의 요구 사항을 충족할 수 있는 탁월한 수준의 광 (optical) 성능을 제공합니다. 최강의 맞춤식 이미징 서브시스템은 최고 수준의 정밀도 (Precision) 와 유연성 (Flexibility) 을 제공하는 반면, 완전 자동화된 로드 포트는 제작을 위해 와퍼를 빠르고 쉽게 전송하는 데 사용할 수 있습니다. 마지막으로, NSR S610C는 직관적이고 사용하기 쉬운 제어 및 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 전용소프트웨어 (DW) 는 스테퍼를 구성하고 진행 상황을 모니터링하는 데 있어 유연성과 제어가 매우 뛰어나기 때문에, 정확도와 속도가 가장 중요한 프로덕션 (Production) 을 위한 완벽한 선택입니다.
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