판매용 중고 NIKON NSR S610C #293633336

NIKON NSR S610C는 고급 유형의 웨이퍼 스테퍼로, 고급 반도체 리소그래피에 적합합니다. 전체 성능을 저하시키지 않고 여러 층의 리토 (litho) 구조를 처리 할 수있는 광범위한 애플리케이션 범위를 갖춘 몰입 스테퍼 (immersion stepper) 입니다. 부드러운 스캔 동작, 정확한 정렬 및 고품질 웨이퍼 이미징이 특징입니다. NSR S610C 는 포괄적인 기능을 갖추고 있어 효율적인 리프트 오프 (lift-off) 및 회로 패턴화를 지원합니다. 이 스테퍼는 5 축 스테이지 설계를 사용하여 스캔 작업을 통해 높은 배율에서도 높은 충실도 이미지를 만들 수 있습니다. NIKON NSR S610C의 내부 및 외부 단계는 모두 다이렉트 드라이브 모터로 구동되며, 조리개 (sub-aperture) 정확도와 정확하고 빠른 움직임을 제공합니다. 이미징과 관련하여 NSR S610C는 뛰어난 웨이퍼 균일성과 충실도를 제공합니다. 온보드 (on-board) 광 정렬 메커니즘을 사용하면 구조의 크기와 복잡성에 관계없이 정확하고 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 첨단 이미지 인식 시스템 (Advanced Image Recognition System) 이 장착되어 있어 저항파 (Resist Profile) 를 정확하게 평가할 수 있으며, 이를 통해 모든 까다로운 가장자리 배치 조건을 보완할 수 있습니다. NIKON NSR S610C는 또한 사용자와 시스템을 보호하기 위해 몇 가지 안전 기능을 제공합니다. 첨단 연동 시스템은 내부 및 외부 장애를 모니터링하여 손상과 사고를 방지합니다. 또한, 빠른 청소 시스템 (quick-cleaning system) 은 오염을 줄이고 기계를 다음 웨이퍼에 빠르게 사용할 수 있도록 합니다. NSR S610C는 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR S610C는 5축 단계 설계, 정확한 이미지 인식 시스템, 효율적인 클리닝 시스템을 갖춘 효과적이고 신뢰할 수 있는 리소그래피 솔루션입니다. 여러 가지 안전 기능을 통해 모든 반도체 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 안전하고 신뢰할 수있는 선택이 가능합니다.