판매용 중고 NIKON NSR S609B #9223197

NIKON NSR S609B는 고급 석판화 응용 프로그램을 위해 설계된 정밀 패턴 인식 마이크로 스테퍼 형 노출 장비입니다. NSR S609B 는 근거리 (near-field) 광원 (light source) 을 갖춘 몰입 이미징 시스템으로, 다양한 고급 기능을 통합하여 집적 회로, 평면 패널 디스플레이, 기타 최첨단 기술 분야의 고급 애플리케이션에 적합합니다. NIKON NSR S609B 는 글로벌/로컬 정렬 오류를 빠르고 정확하게 감지할 수 있는 고급 공간 정렬 (spatial alignment) 장치를 제공합니다. 이 기계는 이미지 등록을 정확하게 수행하도록 최적화되어 있으며, 저항층 (resist layer) 의 뒷면 (back-side) 또는 앞면 (front-side) 게이트 정렬 표시에 따라 방향을 지정합니다. 이 도구는 또한 독자적인 광 감지 (optical sensing) 기술을 사용하여 더 정확한 패턴 선택성을 위해 여러 스테퍼 정렬 마크를 감지합니다. NSR S609B 는 매우 빠른 노출 속도를 제공하여 고속 석판화 애플리케이션에 적합합니다. 이 자산은 집적 회로 (Integrated Circuit) 및 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 에 대한 가장 까다로운 처리량 요구사항을 충족시키기 위해 초당 최대 4회의 노출을 제공할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고급 이미징 솔루션 (Advanced Imaging Solution) 을 위해 다른 시스템과의 높은 초점 및 통합 편의성을 제공합니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 장비는 확장 된 필드 깊이와 최소 샘플 간 포커싱을 통해 레이어를 정확하게 포커싱하고 정렬할 수 있습니다. NIKON NSR S609B에는 기존 랩 설정과의 통합이 용이한 6 인치 현미경 포트가 장착되어 있습니다. 또한 NSR S609B 는 탁월한 해상도와 패턴 기능 크기 제어를 제공합니다. 이는 집적 회로 (integrated circuit) 와 디스플레이 기판 (display substrate) 분야에서 석판화 (lithographic) 애플리케이션의 까다로운 요구 사항에 이상적인 시스템입니다. 이 장치는 최대 0.6 µm 기능 크기를 생산할 수 있으며 최소 기능 크기 (25 nm) 및 최소 라인 피치 (50 nm) 를 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR S609B는 고정밀 기계 등록 및 고급 NC (수치 제어) 기술로 설계되었습니다. 이는 매우 정확하고 반복 가능한 패턴 배치 및 오버레이 정확도에 기여합니다. 이 기계는 주축 수준이 낮고 해상도가 높은 스테퍼 모터 펄스 제어 (stepper motor pulse control) 로 인해 모양이나 크기에 관계없이 패턴의 안정적이고 반복 가능한 이미징 성능을 렌더링합니다. NSR S609B는 최적의 사용성과 운영자의 편의를 위해 설계되었습니다. 이 도구는 STEP-NC 프로그래밍 및 리모콘 (Remote Control) 과 완벽하게 호환되므로 다양한 제조 환경에 통합될 수 있습니다. 또한, 이 기계는 24 V 광원을 장착하여 온머신 (on-machine) 장치로 사용할 수 있으며, 자산 활용도를 단순화하고 기계 상호 작용 시간을 줄이기 위해 디지털 사용자 인터페이스 (digital user interface) 를 제공합니다. 요약하자면, NIKON NSR S609B는 고성능 이미징 및 빠르게 개발되는 기술 애플리케이션을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 모델입니다. 속도, 정확도, 사용성의 조합으로 가장 까다로운 석판화 (lithography) 요구를 충족할 수 있습니다.