판매용 중고 NIKON NSR S609B #9188831
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ID: 9188831
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Wafer stepper, 12"
CYMER XLA 240 Laser
Resolution: ≦ 55 nm
NA: 1.07
Exposed light source: ArF Excimer laser
Wavelength: 193 nm
Reduction ratio: 1:4
Maximum exposing range: 26 x 33 mm
Overlap accuracy: ≦ 7 nm
Throughput: ≧ 130 wafers/hour (76-Shots)
Exposure power conversion: 4800,952 (mW/cm²)
Illumination uniformity conversion: 0.205% (Dynamic)
Wafer holder flatness, Hip flatness: 2.018 μm
Reduction magnification: 1:4
Measurement of moving mirror measuring:
Residual WX: 1.201 nm
Residual WY: 1.271 nm
Exposure of light moving stage mirror measuring:
Residual WX: 1.028 nm
Residual WY: 0.533 nm
Lens distortion:
Max X: 6.2 nm Y: 3.9 nm
Max X: -6.3 nm Y: -2.4 nm
Stepping precision (Step):
SX1: 3σ = 5.8 nm
SX2: 3σ = 6.9 nm
SX3: 3σ = 6.6 nm
SY1: 3σ = 4.0 nm
SY2: 3σ = 4.2 nm
SY3: 3σ = 4.2 nm
2006 vintage.
NIKON NSR S609B는 스테퍼 렌즈 (stepper lens), 광학 현미경 (optical microscope), 다크 필드 렌즈 (darkfield lens) 와 같은 다양한 레티클을 사용하여 뛰어난 품질의 최첨단 반도체 웨이퍼를 생산할 수있는 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 대규모 집적 회로 (LSI), DRAM 및 기타 고급 메모리 제품의 생산을 위해 설계된 다용도 석판화 도구입니다. NSR S609B 는 스캐닝 (scanning) 정렬기 웨이퍼 스테퍼로, 스테퍼 작업의 속도와 정확도를 높일 수 있습니다. 이 장비에는 고급 스캐너 (Scanner), 레이저 기반 정렬 시스템 (Laser-based Alignment System) 및 단일 터미널에서 기계의 작동을 제어 및 모니터링 할 수있는 통신 장치 (Communication Unit) 가 장착되어 있습니다. 이 장치의 고급 전자 빔 옵틱 (electron beam optics) 과 고해상도 스테퍼 렌즈 (stepper lens) 는 웨이퍼에 생성 된 패턴의 정밀도를 최대화합니다. NIKON NSR S609B 의 하이라이트 기능은 고급 AutoVavalTM 소프트웨어로, 마스킹 프로세스에서 잘못된 정렬을 보완할 수 있으며, 다양한 노출 각도, 입사광각, 웨이퍼 크기 (wafer size) 에 걸쳐 일괄 보정을 적용할 수 있습니다. 이 도구는 내장 웨이퍼 모니터링 에셋 (wafer monitoring asset) 을 사용하여 스테퍼 작업 중 웨이퍼 서피스의 무결성을 검사할 수 있습니다. NSR S609B 는 광범위한 사용자 친화적 기능과 원격 서비스 지원, 최대 0.2um 의 내결함성 (fault tolerance), 고속 검색 (High Speed Scanning) 기능을 제공합니다. 동시에 최대 5 개의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 또한 패턴 배치 및 배치 정확도에서 불규칙성을 감지하고 분석할 수 있는 자동 수정 모델 (auto-correction model), 이미지 왜곡을 최소화하는 강력한 프로그램 기반 정렬, 스테퍼가 최적의 성능으로 작동하도록 하는 패턴 분석 장비 (pattern analysis equipment) 를 제공합니다. 사용자는 생산성을 극대화하기 위해 200 웨이퍼 언로더 (wafer unloader) 와 200 웨이퍼 로더 (wafer loader) 를 장착합니다. wafer 어셈블리의 수동 처리에 소요되는 불필요한 시간과 에너지를 줄이기 위해 설계되었습니다. 이 "시스템 '에는 또한 먼지 와 흙 이 방 에 들어가는 것 을 방지 하는 여러 가지 보호 조치 가 수반 되어 있는데, 이것 은" 에너지' 의 수명 을 연장 시키고 유지 관리 비용 을 줄이는 데 효과적 이다. 전체적으로 NIKON NSR S609B는 안정적이고 강력한 웨이퍼 스테퍼로, 고급 메모리 제품, LSI, DRAM 생산에 적극 권장됩니다. NSR S609B 는 매우 정밀하고, 고급 기능이며, 사용이 간편한 컨트롤로, 다양하고, 정확한 웨이퍼 스테퍼를 찾는 사람들에게 매우 인상적인 선택입니다.
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