판매용 중고 NIKON NSR S609B #293817904

NIKON NSR S609B는 다양한 리소그래피 프로세스에서 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체 웨이퍼에서 패턴을 정확하고 정확하게 제작하도록 설계되었습니다. NSR S609B 는 빠르고 신뢰할 수 있는 하드웨어 및 소프트웨어와 함께 고급 고정밀 (high-precision) 옵틱 및 조명 기술을 활용하여 정확하고 정확한 패턴을 제공합니다. 웨이퍼에 매우 높은 해상도의 이미지를 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR S609B는 가벼운 소스 기반 장비입니다. 고출력 KrF 엑시머 레이저 광원 (gas disposal configuration) 을 사용하여 초점이 큰 균일 한 빔을 생성합니다. 광원은 또한 다중 빔 쉐이핑 (multiple beam shaping), 광학 안정화 및 노출 치수화와 같은 기술을 통해 처리량을 높이고 폐기물을 줄입니다. NSR S609B는 또한 여러 가지 다른 고급 하드웨어 특성을 자랑합니다. 미세 구동 스테퍼 모터 (Fine Drive Stepper Motor) 와 함께 광학을 빠르고 정확하게 배치하기 위해 단단하고 가벼운 간트리 (Gantry) 가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 매우 민감한 노출 위치 감지 장치 (Exposure Position Detection Unit), 고급 자동 초점 기계 및 광범위한 노출 요소 및 측정 시스템이 포함됩니다. 이 도구는 니콘 5200 소프트웨어 PDW (Nikon5200 Software PDW) 에 의해 제어됩니다. 이 소프트웨어는 사용하기 쉽고 안정적인 인터페이스로 웨이퍼 스테퍼를 제어합니다. 초점, 용량, 파장, 노출 시간, 노출 용량 및 셔터 각도를 포함한 여러 노출 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 또한, 노출 요소, 고급 유지 관리 및 노출 후 분석 도구를 제어 할 수 있습니다. NIKON NSR S609B는 오늘날 성장하는 반도체 산업의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 낮은 k1 공정 (low k1 process), 이중 노출 공정 (double exposure process) 등 다양한 석판화 공정이 가능하며, 여전히 최고 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 고급기능과 결합한 효율적이고 신뢰할 수 있는 운영은 "반도체 웨이퍼 '제작에 필요한 모든 사람에게 이상적인 선택이다.