판매용 중고 NIKON NSR S322F #293671842
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NIKON NSR S322F는 NIKON에서 제조 한 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고품질 집적회로 제품을 생산하기 위한 정밀한 정렬이 필요한 집적회로 (integrated circuit) 생산에 사용된다. 이 스테퍼는 대형 스트로크 (stroke) 및 고정밀 (high-precision) XY 스캐너를 통합하여 처리 중 웨이퍼를 매우 정확하게 정렬 할 수 있습니다. NSR S322F 는 최대 0.1 미크론 의 웨이퍼 정렬의 정확성과 반복성을 유지할 수 있습니다. NIKON NSR S322F는 NIKON 고급 이미징 옵틱과 매우 견고하고 외부 구조를 활용하여 뛰어난 이미징 성능과 정확도를 제공합니다. NSR S322F 는 강력한 4kW (optical lumination) 장비를 통합하여 스프레이 라이트 (stray light) 로 인한 산포 효과 및 수차를 최소화하고 전체 필드 크기에 대한 균일 한 조명을 제공하도록 설계되었습니다. NIKON NSR S322F (Advanced Optics and Illumination System) 는 폭이 75mm 이상인 웨이퍼 스캔 필드를 이미징하여 전체 분야에서 매우 높은 수준의 이미지 균일성과 반복성을 유지할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 고속 자동 초점 장치 (High-Speed Autofocus Unit) 를 특징으로하며, 최첨단 감지 기술과 고급 신호 처리 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 표면의 결함을 감지합니다. 이 자동 초점 머신 (autofocus machine) 은 전체 스캔 범위에서 매우 높은 정확도를 제공하여 스테퍼의 이미징 기능을 최대한 활용할 수 있습니다. NSR S322F 는 또한 고정밀 스테퍼 모터 (stepper motor) 를 갖춘 노출 도구를 통합하여 노이즈 (noise) 노출 동작을 유지하면서 엄격한 노출 제어를 제공합니다. 이 노출 자산은 NIKON NSR S322F (4kW) 조명 모델과 상호 작용하여 노출 성능에서 궁극적 인 성과를 달성하는 한편, 웨이퍼 표면에서 흩어져 반사되는 빛의 양을 최소화합니다. NSR S322F (Advanced Motorized Stage) 는 또한 고속 및 매우 정확한 웨이퍼 동작을 제공하는 고급 모터 스테이지 (Motorized Stage) 를 갖추고 있으며 매우 낮은 정착 시간과 고속 최소 진동을 유지합니다. 이 스테퍼는 다이렉트 드라이브 (direct drive) 와 마이크로 프로세싱 (micro-processing) 기술의 조합을 사용하여 최대 0.1 미크론의 웨이퍼 동작의 정확한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한 NIKON NSR S322F의 전동 단계에 대한 특수 보호 코팅은 장기적인 성능 및 신뢰성을 보장합니다. NSR S322F 는 매우 정확하고 다재다능한 웨이퍼 (wafer) 스테퍼로서, 가장 까다로운 집적 회로 제조 설비의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고급 이미징 옵틱, 고속 자동 초점 장비, 전동식 스테이지 (Motorized Stage) 를 갖춘 NIKON NSR S322F는 모든 까다로운 웨이퍼 처리 작업에 최적의 수준의 성능과 정확성을 제공합니다.
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