판매용 중고 NIKON NSR S322F #293671643
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293671643
Scanner
Resolution: ≦ 65 nm
Exposure light source: ArF Excimer laser (193 nm Wavelength)
Reduction ratio: 1:4
Maximum exposure field: 26 mm x 33 mm
Overlay:
Single Machine Overlay (SMO): ≦2 nm
Mix and Match Overlay (MMO): ≦5 nm
Throughput: ≧ 230 Wafers / Hour (96 Shots).
NIKON NSR S322F는 웨이퍼 스케일에서 고해상도 이미징을 제공하도록 설계된 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 대용량 생산을위한 업계 표준 인 48 인치 직경 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. NSR S322F는 고급 옵틱 및 이미징 기능을 제공하여 나노미터 수준의 해상도를 제공하여 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. 장비는 또한 와퍼를 다른 높이로 인덱싱 (indexing) 하여 쉽게 액세스 및 정렬할 수 있습니다. NIKON NSR S322F 는 실시간 피드백 (feedback) 및 디지털 제어 기능을 제공하는 고급 CCD 어레이 (array) 카메라를 장착하여 모든 애플리케이션에 대해 스테퍼를 빠르고 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 이미지 처리 장치 (Configurable Image Processing Unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 스캔 모드와 이미지 모드 모두에서 이미지 품질을 최적화할 수 있습니다. 또한 이 기능을 사용하면 노출 시간, 렌즈 조리개, 초점 등의 이미징 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. CCD 어레이 카메라의 성장에 따라 NSR S322F (Autofocus Machine) 에는 스캔 중인 웨이퍼의 높이와 노출 시간에 관계없이 일관된 이미지 품질을 보장하는 자동 초점 머신 (Autofocus Machine) 이 포함되어 있습니다. NIKON NSR S322F 는 또한 사용자가 한 번의 주기로 대용량 부품을 스캔할 수 있는 Field Imaging 툴을 갖추고 있습니다. 자산의 다중 노출 기능 (Multiple Exposure Capability) 을 통해 사용자는 다른 노출에서 다른 부분의 웨이퍼를 스캔하여 해상도가 높아집니다. 이 기능을 활용하여 엔지니어는 여러 구성 요소를 포함하는 "웨이퍼 (wafer) '를 신속하게 처리할 수 있습니다. NSR S322F에는 일관된 조명 조건을 보장하는 광도 컨트롤러도 있습니다. 이는 날짜에 관계없이 이미징의 정확성을 보장합니다. 또한 스테퍼는 다양한 이미지 처리 및 소프트웨어 도구 (예: 이미지 동기화, 이미지 마스킹) 와 호환됩니다. 이러한 도구는 웨이퍼 처리 어플리케이션의 생산성과 효율성을 향상시키기 위해 설계되었습니다. 전반적으로 NIKON NSR S322F는 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 산업 이미징에 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 고급 이미징 기능, 현장 이미징 모델, CCD 어레이 카메라, 자동 초점 장비, 광도 컨트롤러 (Light Intensity Controller) 는 컴팩트하고 경제적인 패키지로 탁월한 정확성과 화질을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다