판매용 중고 NIKON NSR S322F #293665735

NIKON NSR S322F 는 반도체 업계에서 석판화 (lithography) 애플리케이션에 사용되는 고성능 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 이것은 고급 정밀도 및 정렬 기능을 갖춘 정밀 광학 이미징 도구입니다. NSR S322F 에는 원샷 (one-shot) 광 장비가 있으며, 이를 통해 웨이퍼에 걸친 노출 시간과 잘못된 정렬 발생을 줄일 수 있습니다. 또한 고급 형상 교정 (Advanced Geometry Correction) 기능을 사용하여 웨이퍼를 따라 패턴을 정렬하여 정확한 패턴 형성을 보장합니다. 스테퍼에는 광학 유닛의 정밀 정렬 및 레벨링을 위해 전체 조리개 (full-aperture) 이미지 필드 측정 및 조정 시스템이 장착되어 있습니다. 이를 통해 빠른 피드백 (feedback) 과 조정 (adjustment) 을 통해 웨이퍼 전체의 노출 정확성을 보장할 수 있습니다. 또한 이미지 필드 측정기 (Image Field Measurement Machine) 는 스테퍼의 광학 도구를 동적 레벨링하여 지속적으로 정확한 성능을 보장합니다. NIKON NSR S322F 는 또한 견고하고 신뢰할 수 있는 XY 플랫폼과, 노출 및 패턴화 시 웨이퍼 보안을 위한 고정밀 광 공기 베어링 (optical air bearing) 자산을 갖추고 있습니다. 이로 인해 잘못된 정렬이 줄어들고 정밀도가 높은 리소그래피가 생성됩니다. 또한 스테퍼에는 aphase-shifting 알고리즘을 사용하여 칩 전체에서 포커스를 빠르게 측정하는 초고속 실시간 포커스 (real-time focus) 감지 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비는 누락 오류 (misalignment error) 를 줄이기 위해 노출 전에 초점을 빠르게 피드백하고 조정할 수 있습니다. 또한 NSR S322F (Multi-location Alignment System) 는 웨이퍼를 통해 패턴 좌표를 이동하여 전체 칩을 정확하게 정렬할 수 있는 다중 위치 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 스테퍼는 또한 이미징 (imaging) 과 광자 에너지 전송을 결합하여 웨이퍼를 가로 질러 패턴을 형성하는 화합물 영상 장치 (compound imaging unit) 를 가지고 있습니다. 또한 NIKON NSR S322F 는 다양한 wafer 형식을 지원하며, 예비 부품이 장착되어 있으며, 사용자에게 친숙한 운영 체제를 갖추고 있습니다. 이 툴을 사용하면 프로세스 매개변수를 자동으로 조정하고 최적화하여 장애 속도를 줄이고, 수익률을 최대화하고, 처리량을 높일 수 있습니다. 결론적으로, NSR S322F는 일관되고 정확한 석판화 성능을 제공하도록 설계된 고정밀, 반자동 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 이미징 기술 (Advanced Imaging Technology) 과 다양한 기능을 갖추고 있어 정확한 정렬, 동적 초점, 낮은 수준의 오류를 보장합니다. 또한, 스테퍼에는 사용하기 쉬운 인터페이스가 있으며, 다양한 wafer 형식과 호환됩니다.