판매용 중고 NIKON NSR S308F #9304337

NIKON NSR S308F 스테퍼는 집적 회로 제작에 사용되는 고급 반도체 석판 장비입니다. 스테퍼는 3 단계 감소 광학, 직경 최대 10 인치 기판을 수용 할 수있는 대형 필드 플레이트를 특징으로하며, 고속, 고정밀 패턴화를 위해 독점적 인 Advanced Scanning System을 포함합니다. 이 장치의 스캔 필드 크기는 8 x 10 인치 (8 x 10 인치) 이며 양수 및 음수 이미지 모드에서 이미징 할 수 있습니다. NSR S308F는 248nm에서 35nm 사이의 광범위한 파장을 사용합니다. 스테퍼는 i 라인, 크립톤 플루오 라이드 (KrF) 및 2 세대 ArF를 포함한 다양한 광원과 호환됩니다. 이 기계는 또한 뛰어난 처리량을 위한 저진동 공기 베어링 (low-vbration air bearing) 과 안정적인 성능을 보장하는 웨이퍼 전송 도구 (wafer transport tool) 와 같은 여러 가지 고급 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 자산에는 기판을 쉽고 효율적으로 처리 할 수있는 여러 가지 고급 자동 (Advanced Automated) 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 웨이퍼 정렬 모델, 빠른 기판 적재를위한 클램핑 존 (clamping zone) 이있는 진공 척 (vacuum chuck) 및 스캐닝 스테이지 시프트 장비가 포함됩니다. 자동 레티클 (reticle) 로드/언로드 기능을 통해 패턴의 빠른 변경과 정확한 패턴화를 가능하게 하며, 탁월한 처리량과 높은 수율을 제공합니다. 고성능 스테퍼는 정확한 오버레이 등록과 정확한 에지 배치 (5nm 정밀도) 를 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 시스템은 자동 초점 제어 장치, EFG (electron-force lens) 기계 및 섭씨 +/- 0.5 도 내에서 온도 정확도를 유지하는 고급 히터 제어 도구 (Advanced Heater Control Tool) 를 포함하여 안정적인 조건을 보장하기 위해 여러 가지 기능을 갖추고 있습니다. 마지막으로, 이 자산은 전력 소비량이 적고 소음, 발열량이 적어 환경 친화적인 운영을 제공하도록 설계되었습니다. 요약하자면, NIKON NSR S308F 스테퍼는 반도체 리소그래피에서 높은 수율과 정확성을 달성하기 위한 탁월한 선택입니다. 광범위한 기판을 처리할 수 있고, 효율적인 처리를 위해 자동화된 기능의 배열 (array of automated function) 을 갖추고 있습니다. NSR S308F 스테퍼는 5nm (5nm) 의 정밀도 및 친환경 설계를 통해 모든 생산 프로세스에 정밀성과 품질을 제공합니다.