판매용 중고 NIKON NSR S308F #9293213
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NIKON NSR S308F는 집적 회로 (IC), 메모리 칩 및 기타 여러 구성 요소와 같은 고급 반도체 장치의 대용량 생산에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 컴팩트하고 가벼운 바디 디자인 (body design) 이 특징이며, 매우 높은 화질을 지닌 직접 기판 생산에 적합합니다. 초고해상도 리소그래피 (lithography) 를 위한 전문 도구로서, 혁신적이고 강력하며 안정적인 성능을 제공합니다. NSR S308F 는 최첨단 광 구성 요소로 구성된 고급 광 장비 (optical equipment) 를 갖추고 있어 전체 분야에서 nanometer 스케일 해상도를 제공합니다. NIKON NSR S308F에 의해 채택 된 OZI (Optical zone imaging) 시스템은 스테퍼의 달성 가능한 해상도를 더욱 높입니다. 빠르고 안정적인 스캔 시프트 속도는 최대 1um 선형 (linear) 및 0.5um (square) 패턴을 생성 할 수 있습니다. NSR S308F 의 5 단계 확대 장치는 다양한 노출 확대 (exposure) 를 통해 작은 필드 크기와 큰 필드 크기 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. NIKON NSR S308F는 실시간 광 스캐닝 제어, 다중 노출 알고리즘, 웨이퍼 왜곡 수정, 자동 초점 (Auto Focus) 등 빠르고 유연하며 고급 제어 기능을 제공합니다. 시스템 내 자동 정렬 기능으로 정확한 수준의 오버레이 정확도가 달성됩니다. NSR S308F 역시 대규모의 웨이퍼 (wafer) 지원이 일반 평탄도 요구 사항에 맞게 설계된 평면적 (heavy-duty) 정렬 기능을 자랑합니다. 이 제품은 빔 셰이핑 (beam-shaping) 플레이트와 흡수기의 다양한 재료를 갖추고 있으며, 다양한 광 도구 매개변수를 쉽게 최적화 할 수있는 유연한 플랫폼을 제공합니다. 독특한 Air Shower Asset을 사용하면 최대 0.7 마이크로 미터의 입자 크기를 가진 깨끗한 환경에 민감한 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR S308F 는 시간당 최대 2500 개의 웨이퍼를 처리할 수 있는 고속 운영 기능을 제공합니다. 또한 빠르고 정밀한 자동 초점 (auto-focus) 을 제공하여 높은 배율 시야로 1nm 이상의 최상의 이미지 품질을 제공합니다. 대형 평면 모니터 (Flat Monitor) 와 간편한 액세스 버튼 레이아웃을 통해 간단하고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. NSR S308F 는 최첨단 기술 설계를 통해 효율성 및 생산성을 효과적으로 높일 수 있는, 강력하고 안정적인 리토그래피 (lithography) 모델입니다.
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