판매용 중고 NIKON NSR S308F #293821681

NIKON NSR S308F는 반도체 제작 산업의 고정밀 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 첨단 광학 장치 (Advanced Optical Equipment) 가 장착되어 있어 단일 노출로 여러 레이어를 단일 웨이퍼에 인쇄할 수 있습니다. 스테퍼는 모든 레이어에 걸쳐 정확하게 제어되는 이미지 품질을 제공합니다. 즉, 고밀도 (high-accuracy) 제작과 복잡한 레이어 오버레이 (layer-overlay) 를 위한 미세 패턴화가 포함됩니다. NSR S308F는 석판화 프로세스 동안 최고의 정확성을 위해 NIKON 독점 ICSS (In-Column Source Scanning System) 로 제작되었습니다. ICSS는 특수 열 소스를 사용하여 빛을 원자 화하고 균일성과 정확도를 최대화합니다. 이렇게 하면 다양한 이미지 유형이 있는 웨이퍼 (wafer) 에 매우 정확한 고해상도 구조를 생성할 수 있습니다. 스테퍼에는 X-Y 축에서 최대 100mm/초, 노출 및 웨이퍼 처리 속도를 위해 2 축에서 20도/초까지 이동할 수있는 고속 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 스테이지에는 뛰어난 이미지 처리를 위해 C2C 최대 700nm (C2C) 를 최소화하는 고급 진동 제어 장치도 있습니다. NIKON NSR S308F 에는 또한 미러 정렬 시스템이 내장되어 있어 리소그래피의 정밀도를 높일 수 있습니다. 이 툴은 개별 미러의 상태와 광 (optical) 자산의 전체 정렬을 모니터링합니다. 이 모델은 또한 광학의 최적의 정렬을 위해 레이저 빔의 자동 조정을 제공하며, 오정 오류 (misalignment error) 를 최대 3 m에서 허용 가능한 0.1 jm로 줄입니다. 또한, 스테퍼는 웨이퍼에서 이미지를 흔드는 것을 방지하는 Stiff Frame 구성을 특징으로합니다. 이 프레임은 또한 빠른 열 소산을 지원하여 전반적인 광 수차를 줄이고 대비를 개선합니다. 이는 스테퍼의 전체 호 시간을 줄이고 생산 효율성을 향상시킵니다. 전반적으로 NSR S308F는 반도체 제작 산업의 석판화를 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱이 장착되어 있으며, ICSS 및 내장 미러 정렬 장비를 사용하여 정확한 화질을 유지합니다. 또한 고속 웨이퍼 스테이지와 Stiff Frame 구성을 통해 생산 효율성이 향상됩니다.