판매용 중고 NIKON NSR S308F #293817909

NIKON NSR S308F
ID: 293817909
ArF Scanner Numerical Aperture (NA): 0.92 Resolution: 70 nm DCO:  ≤8.
NIKON NSR S308F 는 높은 처리량 및 운영 레벨 성능을 제공하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 다양한 고급 기능과 옵션 중에서 선택할 수 있습니다. 이 스테퍼는 현장에서 검증된 8 인치 렌즈를 사용하여 최대 광학 성능을 제공합니다. 또한 NSR S308F 에는 최고 25mW/cm2 의 고급 UV 조명 장비와 빠르고 정확한 정렬을 위한 고속 자동 초점 (autofocus) 이 장착되어 있습니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 정교한 기계적 광학 설계를 활용하여 각 응용 프로그램에 대한 최적의 이미지 품질을 달성함으로써 부분적 (part-to-part) 변화를 줄이기 위해 시연됩니다. 또한 이온 빔 밀링 (ion beam milling) 서브 시스템을 특징으로하며, 이는 노출 된 표면을 보호하는 데 사용되는 효율적이고 정확한 드라이 에칭 방법입니다. 고급 NIKON NSR S308F는 또한 현장 처리량을 최적화하기 위해 설계되었습니다. 강력한 PC 기반 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 신속하게 결과를 얻을 수 있으며, 원하는 모든 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 드릴되는 구멍의 표면 거칠기, 모서리 각도, 깊이를 고도로 제어하도록 조정된 레이저 드릴링 구멍 채우기 (laser-drilled hole fill) 공정으로 설계되었습니다. 또한 NSR S308F 는 다른 광 이미징 시스템과 관련된 번거로운 Ad Hoc (Ad Hoc) 조정을 방지하는 고급 설계를 제공합니다. 또한 고급 HotCathode Ion Beam Gun Control (HotCathode Ion Beam Gun Control) 기능을 사용하여 유지 관리를 단순화하여 사용자가 이미지의 노출을 정확하게 제어할 수 있도록 합니다. 또한 NIKON NSR S308F 는 스캐닝 모드와 스캔리스 (Scanless) 모드를 모두 활용하여 최대 웨이퍼 처리량을 달성합니다. 이 장치를 사용하여 여러 개의 웨이퍼 형식을 컨덴서 빔 (condenser beam) 의 한 번의 샷으로 정렬하고 스캔할 수 있으며, 스텝 퍼 (stepper )/스캔 (aspect ratio) 패턴을 높일 수 있습니다. 또한, 독특한 수축 빔 (constricted beam) 디자인은 기계의 효율적인 성능을 더욱 향상시켜 더 얕고 균일 한 커프 벽을 만들어 패턴화 복잡성을 줄입니다. 요약하자면, NSR S308F 웨이퍼 스테퍼는 고속 자동 초점, 정교한 UV 조명, 이온 빔 밀링 서브 시스템, 레이저 드릴링 구멍 칠 프로세스와 같은 고급 기능을 결합하여 최고의 스루핑 및 품질 제어를 제공하는, 운영 수준 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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