판매용 중고 NIKON NSR S308F #293776350

NIKON NSR S308F 웨이퍼 스테퍼는 고급 photolithography 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 노출 도구입니다. 매우 정확하고 신뢰할 수 있는 플랫폼으로, 최소한의 운영자 개입 (operator intervention) 하에서 뛰어난 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 기계는 각각 248nm와 193nm의 파장을 가진 독특한 KrF (Krypton Fluoride) 및 ArF (Argon Fluoride) 펄스 엑시머 레이저를 특징으로합니다. 12 개의 유전체 거울 장비를 갖춘 5 축 정렬기는 서브 미크론 등록 및 오버레이 성능을 제공합니다. NSR S308F는 6 "기판 로딩 스테이션과 8" 기본 또는 하이브리드 마스크 스테이지와 고속 자동 초점 시스템을 결합합니다. 또한 정확한 이미지 처리 및 정확한 오버레이 등록을 위해 NIKON DSR (Digital Super Resolution) 기술을 갖추고 있습니다. 이 고급 기술은 최대 노출 필드 크기 355mm를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 25 나노 미터 정확도가 가능한 2 개의 선택 가능한 이미징 방향을 가진 고해상도 이미징 장치를 사용합니다. 이미징 머신은 DSR 도구 (DSR tool) 와 결합하여 기존의 이미징 시스템에서 달성 할 수있는 것보다 더 훌륭한 해상도로 수정 된 이미지를 제공합니다. 정확한 결함 무료 노출을 위해 NIKON NSR S308F에는 매우 역동적 인 기판 단계를 갖춘 고급 공기 (advanced air bearing) 가 제공됩니다. 이 독특한 기능은 낮은 진동, L 자형 설계를 통해 정확한 기판 정렬과 뛰어난 균일성을 제공합니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼는 오류 없는 프로세스 제어 (실시간 결함 감지 기능 포함) 를 제공하는 IM-net 모델 (IM-net Model) 모듈을 포함하여 완전 자동화 자산으로 채워질 수 있습니다. 또한 자동 레시피 조정 및 고급 사용자 친화적 작업을 제공하는 NIKON Smart Manager 소프트웨어를 사용합니다. 결론적으로, NSR S308F는 정확성과 신뢰성을 제공하는 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 사진 촬영 응용 프로그램의 주요 기술 발전으로, 이 기계는 뛰어난 성능, 최대 노출 필드 크기, 개선 된 결함 감지 및 처리 제어 (processing control) 를 제공합니다.