판매용 중고 NIKON NSR S308F #293754616

ID: 293754616
ArF Scanner.
NIKON NSR S308F는 고성능 프로덕션 레벨 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 이미징 기능과 향상된 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. S308F에는 aspheric crystalline 압축 렌즈, advanced diffraction 요소, aspheric reflective mirror 및 super-resolution shift mask creator로 구성된 고급 차세대 광학 장비가 제공됩니다. 이 광학 시스템은 접촉 레이어 및 장치 구조에 필요한 고밀도 미세 패턴 (fine patterning) 의 뛰어난 패턴 정확도와 정확도를 달성합니다. 광학 장치 (optics unit) 를 자동으로 조정하는 스테퍼의 독점 자동 초점 알고리즘은 전체 웨이퍼에 걸쳐 정확한 초점을 제공합니다. 최대 250mm 필드 크기와 최대 3.5mu의 필드 깊이로, S308F는 노출 된 표백 질량으로 ArF, KrF, DUV 및 이미징을 포함한 모든 유형의 리소그래피를 수용 할 수 있습니다. S308F는 웨이퍼 이미징을 직관적으로 제어할 수 있는 강력한 Windows 기반 머신을 사용하여 손쉽게 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 이 도구는 FabMaster의 데이터 입력 및 컴파일과 완벽하게 통합되며, 최대 1000 개의 웨이퍼 이미지를 저장할 수 있습니다. 또한 스캐너 도구와 주요 CAD 시스템에 대한 연결이 포함됩니다. 높은 수준의 생산성을 보장하기 위해 S308F는 가변 필드 스티칭, 지정된 위치에 CD-SEM 매핑을 사용하는 실시간 이미징 기능, CD-SEM의 오류 표시 검사, 이미지 밝기, LER, CD 균일성 향상을 위한 향상된 이미지 수정 기능 등을 포함합니다. NSR S308F 는 유지 보수 요구 사항이 최소화되어 높은 수준의 성능을 제공하도록 설계된 다용도 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱 에셋과 다양한 웨이퍼 이미징 도구 (wafer imaging tools) 를 통해 다양한 패턴의 빠른 설정과 안정적인 이미지를 모두 구현할 수 있습니다. 사용이 간편한 Windows 기반 모델로, CAD 및 처리 소프트웨어와의 통합도 높은 효율성과 안정성을 제공합니다. NIKON NSR S308F는 프로덕션 레벨 웨이퍼 스테퍼 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다.
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