판매용 중고 NIKON NSR S307E #9386223

NIKON NSR S307E는 고급 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 기능 및 기술로 유연성과 확장성을 제공하여 리소그래피 (Lithography) 프로세스와 성능을 향상시킵니다. 이 제품은 매우 정밀한 해상도, 높은 처리량 및 낮은 소유 비용을 제공합니다. NSR S307E 는 작은 기능 크기와 좁은 공차 (tolerance) 로 매우 미세한 패턴화가 필요한 운영 프로세스에 적합합니다. 직경 1.6mm (최대 300mm) 의 작은 웨이퍼 (wafer) 에 이르기까지 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 스테퍼는 최대 200mm x 200mm의 필드 크기와 최소 피치 (0.075 äm) 및 최소 기능 크기 (0.2 µm) 를 사용할 수 있습니다. 0.3nm에서 0.5nm 사이의 사용 가능한 해상도를 갖습니다. NIKON NSR S307E는 또한 다양한 고급 기능과 기술을 제공합니다. On-tool Optical Calibration System은 정확한 이미징 및 정렬을 보장하며 He-Cd, KrF, I-line과 같은 다양한 노출 소스를 선택할 수 있습니다. 스테퍼에는 완전 자동 초점 및 정렬 시퀀스, 레이저 간섭 정렬 시스템 (laser interferometric alignment system) 도 포함됩니다. NSR S307E는 또한 표준 마스크 및 양면 마스크, 고반사 마스크 및 패턴 마스크 등 다양한 포토 마스크 유형을 위해 설계되었습니다. 또한 정렬 선택성, 다중 패턴 오버레이, 쿼츠 마스크 기능 (옵션) 과 같은 고급 기능도 제공합니다. 또한, 스테퍼는 광학 균일성 (optical unifority) 과 결함 검사를 통해 다중 계층 프로세스를 통해 일관되게 높은 생산량을 보장합니다. NIKON NSR S307E 는 또한 다양한 옵션과 액세서리를 제공하여 더욱 향상된 기능을 제공합니다. 여기에는 높은 종횡비 에칭, 현장 두께 측정 및 확장 된 초점 깊이에 대한 옵션이 포함됩니다. 또한 로터리, 모터 화, 조정 단계 등 다양한 유형의 조작기와 함께 사용할 수 있습니다. 전반적으로 NSR S307E 는 고급 디바이스 애플리케이션에 필요한 뛰어난 리소그래피 성능을 제공하는 고급 wafer stepper 입니다. 고성능 이미징 기능, 유연한 기능 크기, 해상도, 정확한 정렬 기능 등을 제공합니다. 다양한 기능과 액세서리를 갖춘 이 제품은 모든 칩 (chip) 생산 프로세스에 이상적인 솔루션을 제공합니다.