판매용 중고 NIKON NSR S307E #293817908
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ID: 293817908
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.85
Resolution: 80 nm
DCO: 15
Throughput (WPH): 112-160.
NIKON NSR S307E Wafer Stepper는 고급 이미징 성능과 뛰어난 처리량을 제공하는 풀 필드 옵티컬 웨이퍼 스테퍼입니다. 가장 까다로운 운영 환경의 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. NSR S307E는 새로운 5 축 독립 스캐닝 장비와 고해상도 패턴 이미징을 가능하게하는 5.5mm Telecentric Steped Zone Plate Lens 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 S307E는 단계 크기가 1 ~ 5m인 5 ~ 200mm의 대형 측정 범위를 갖추고 있으며, 정확한 위치와 높은 처리량을 제공합니다. NIKON NSR S307E는 또한 고급 LED 광원과 Focus/Glare/Slit 이미지 제어 장치를 제공하여 이미지 품질과 균일성을 향상시킵니다. 또한 S307E에는 필름 이미징 머신 (film imaging machine) 이 포함되어 있어 단일 스캔 중에 필름, 웨이퍼, 정렬 및 검사를 동시에 수행할 수 있습니다. 이 도구는 프레임 안정성을 유지하고 정렬 오류와 검사 시간을 제거합니다. NSR S307E 는 또한 자동 교정 자산 (auto-calibration asset) 을 갖추고 있어 교정 시간과 신속한 스캐너 (scanner) 를 통해 여러 기판을 한 번에 패턴화할 수 있습니다. 이 자동화된 머신은 고속 이미징을 가능하게 하며, 전체 웨이퍼 스캔 시간은 10 분까지 단축됩니다. 또한 S307E에는 CAM 데이터 생성 및 마스크 없는 리소그래피 (lithography) 도구를 제공하는 강력한 이미징 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR S307E는 가장 까다로운 운영 작업을 위한 강력한 처리/이미징 툴입니다. 고급 이미징 성능, 강력한 소프트웨어 제품군, 높은 처리량, S307E 는 생산에 가장 향상된 Wafer Stepper 중 하나입니다. S307E는 속도, 정확도, 정확도를 완벽하게 조합하여 완벽한 이미징 솔루션을 제공합니다.
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