판매용 중고 NIKON NSR S306C #293822797

NIKON NSR S306C는 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로, 반도체 웨이퍼에서 집적 회로를 제작하는 데 사용되는 기계 유형입니다. 이 기계는 다용도에 특히 유리합니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 매우 얇은 저항과 비표준 기판을 처리 할 수 있습니다. NIKON NSR-S306C는 30nm 이하의 해상도와 정교한 정렬 및 도량형 기능을 제공합니다. 프로파일 링 및 로깅 기능을 사용하여 세부 결과를 추적하는 레벨 1 (Level 1) 변위 제어 장비를 갖추고 있습니다. 통합된 스캐닝 (scanning) 기능을 통해 운영자는 가장 높은 수준의 정확도와 반복성이 필요한 복잡한 프로세스에 대한 노출 및 저장 매개변수를 시뮬레이션할 수 있습니다. NSR S306C는 고급 리소그래피 애플리케이션에 적합합니다. 자동 FALCON (Flexible Auto Loader for Contamination-free Operation & Notification) 시스템을 사용하여 트랙 안팎으로 웨이퍼를 로드합니다. 이는 연락처 (Contact Contamination) 를 방지하고 사용자에게 잠재적 문제를 알리기 위해 고안된 것입니다. 기계의 고급 간섭계 (Advanced Interferometer) 또는 I- 라인 (I-line) 은 포커스의 위치를 측정하고, 객체를 정렬할 수 있게 하며, 포커스의 잘못된 정렬을 방지합니다. 추가 된 정확성을 위해, 기계에는 열 드리프트 및 진동의 영향을 최소화하는 ResCon 기능이 있습니다. 결함이 없는 작업을 위해 스테퍼에는 PUMA 장치가 있습니다. 이 고급 프로세스 제어 시스템 (Advanced Process Control Machine) 은 시간당 240 단계를 거쳐서 자동 사전 최적화 및 최적화를 제공합니다. 또한 각 노출의 정렬을 일관성과 정확성으로 검사하고, 프로세스 성능을 더욱 향상시킵니다. NSR-S306C에는 강력한 U2E FPD 처리 툴이 있습니다. 즉, 용량보다 높은 처리량을 제공하며, 해상도는 최소 2 배 이상 높이는데, 이는 최대 11äm 용량의 객체를 이미지화할 수 있기 때문에, 더 작은 용량의 설계에 이상적입니다. 요약하면, NIKON NSR S306C 웨이퍼 스테퍼는 직경이 최대 300mm 인 웨이퍼에서 집적 회로를 처리하기위한 효율적이고 다용도 기계입니다. 30nm 이하의 해상도, 높은 정확도, 오염 방지 FALCON 도구, 고급 간섭계 및 지능형 PUMA 자산이 있습니다. 또한, 이 머신은 높은 처리량을 위해 고효율 U2E FPD 프로세스 툴과 함께 사용할 수 있습니다.