판매용 중고 NIKON NSR S306 #293814744

NIKON NSR S306은 반도체 장치의 고정밀 리소그래피를 위해 설계된 정밀 6 축 웨이퍼 스테퍼입니다. 공간 필터 (spatial filter), 정밀도 정렬 (precision alignment) 기능, 매끄럽고 반복 가능한 이동을 위한 대규모의 광택 단계 등의 고급 기능이 있습니다. 소형 폼 팩터로 통합된 NSR S306 은 운영/리서치 웨이퍼 프로세싱에 필요한 최고 수준의 정확성과 안정성을 제공합니다. NIKON NSR S306은 다양한 이미지 획득 필드에 걸쳐 초고해상도 및 반복성 (XY의 경우 0.3nm) 을 제공합니다. 또한 긴 수명, 낮은 소유 비용 (TCO) 을 제공하여 장비 수명주기에 따른 유지 관리 비용을 절감할 수 있습니다. NSR S306은 또한 고해상도 편광 이미징 시스템 (High Resolution Polarizing Imaging System) 과 같은 첨단 기술 기능을 제공하여 소음 대 신호 비율이 낮은 편광, 색상, 전면 조명 스캔 등의 고급 이미징 기술을 수행 할 수 있습니다. NIKON NSR S306은 독특한 에폭시 레벨 링 장치를 갖춘 고급 6 축 단계를 사용하여 측면 운동 제어 및 입자 운동 드리프트 감소를 제공합니다. 이 스테이지에는 정확한 제어 및 스캔 속도를 보장하는 고해상도 선형 (High Resolution) 인코더 (Linear Encoder) 가 있으며 반복 가능하고 정밀도가 높은 이미징 기능을 제공합니다. 또한 다양한 노출 설정 (가변 노출 속도, 스캔 크기, 초점 수준) 을 제공합니다. NSR S306 의 다른 고급 기능으로는 뛰어난 이미지 균일성 및 설정 시간, 높은 이미지 명암비 및 해상도, 정밀 리소그래피 (precision lithography) 를 위한 광범위한 노출 설정 등을 제공하는 고급 이미징 머신 (advanced imaging machine) 이 있습니다. 또한 고대비 이미징을 위한 통합 공간 필터 (spatial filter) 를 제공하며, 고급 정렬 도구를 통해 정확하고 반복 가능한 이미징 포지셔닝 및 매개변수 설정을 보장합니다. NIKON NSR S306 은 고성능 및 신뢰성을 최적화하는 고정밀 (high-precision) 기계적 설계와 내부 정렬 자산을 제공합니다. 또한 히터에 내장 된 진공 척 (vacuum chuck) 모델과 노출 중 웨이퍼 산화를 방지하는 야외 냉각 장치가 특징입니다. 또한, NSR S306에는 큰 광택 스테이지가 포함되어 있으며, 이는 입자 운동을 줄이고 부드럽고 반복 가능한 움직임을 허용합니다. NIKON NSR S306은 안정적이고, 고성능, 비용 효율적인 장비로, 정밀 리소그래피에 최고 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 빠른 설정 시간, 고급 이미징 기능, 고해상도 선형 인코더, 다중 노출 설정 (Multiple Exposure Setting) 을 제공하여 연구 및 프로덕션 웨이퍼 처리 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.