판매용 중고 NIKON NSR S306 #120927

NIKON NSR S306은 IC (Integrated Circuit) 마스크 및 작은 계단 기능을 생성하는 데 사용되는 사진 분석 장비입니다. 이 시스템은 고해상도, 하위 미크론 정렬, 등록 및 오버레이 기능을 위해 특별히 설계되었습니다. NSR S306은 Bare-Wafer, Film-on-wafer, 마이크로 디바이스 및 고급 IC 패키징 왜곡 교정과 같은 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었습니다. 이 장치는 강력한 NIKON 5X 배율과 고해상도 스테퍼 스캐닝 머신 (stepper scanning machine) 을 사용하며, 이는 소형 라인 너비 장치를 만드는 데 이상적입니다. 이 도구는 또한 심자외선 (DUV) 및 제온 조명을 지원합니다. NIKON NSR S306은 12 인치 필드 크기, 1.06nm 해상도, 정렬 정확도 1/50 미크론, 최대 처리량 210 웨이퍼/시간 등 다양한 어플리케이션과 고성능 작업을 제공합니다. 필름 온 웨이퍼 (film-on-wafer) 응용 프로그램의 경우, 에셋은 최대 0.25 m 두께의 다양한 종류의 필름을 처리 할 수 있으며 0.3 미크론 미만의 라인 너비를 노출 및 처리 할 수 있습니다. 또한 모델의 가속 (acceleration) 및 감속 (deceleration) 을 조정하여 장비가 낮은 스텝 장애 (Stepdisturbance) 및 초고속 (Ultra High Speed) 으로 처리 할 수 있습니다. NSR S306은 또한 오프 축 조명을 특징으로하며, 이를 통해 매우 큰 기능을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템에는 미세하고 복잡한 정렬 및 등록 응용 프로그램을위한 고속 CoaXP ress Camera도 있습니다. NIKON NSR S306은 또한 카세트 촉진에서 픽 앤 플레이스 (pick-and place) 작업에 이르기까지 완전히 자동화 된 정밀 웨이퍼 처리를 자랑합니다. 웨이퍼 워 페이지 (Wafer Warpage) 및 하단 보정 (Bottoming Correction) 과 웨이퍼 ID, 메트릭 데이터 및 스테이지 보정을 각 웨이퍼에 대해 개별적으로 또는 웨이퍼 배치에 대해 수행할 수 있습니다. NSR S306 에는 고급 이미지 처리 및 분석 소프트웨어가 장착되어 있어 오프라인에서 처리 결과를 정확하게 평가할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 자동으로 한계 (Marginal) 또는 손상된 웨이퍼 (Wafer) 및 웨이퍼 (Wafer) 의 결함 영역을 감지하여 사용자가 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 장치의 다른 기능으로는 자동 레티클 오프셋, 고급 광학 및 전자 냉각이 있습니다. NIKON NSR S306은 고급 IC 운영 요구 사항에 이상적인 선택으로, 탁월한 정확도, 디스플레이 및 자동화를 제공합니다. 다양한 어플리케이션과 처리 속도 측면에서 뛰어난 유연성을 제공하며, 고급 IC 패키징 왜곡 수정, 뛰어난 라인 너비 제어, 조명, 정렬, 등록, 웨이퍼 처리 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다.