판매용 중고 NIKON NSR S208D #293778354

NIKON NSR S208D Wafer Stepper는 고급 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고가용성 석판 장비입니다. 최첨단 옵티컬 시스템을 갖추고 있으며, 위도 0.08 ~ 20m를 노출시킬 수 있습니다. S208D는 또한 NIKON 독점 PPS (Pulse Power Supply) 기술을 통합하여 최적의 노출 에너지 제어를 보장하여 웨이퍼 간 프로세스 차이를 줄입니다. 처리량을 극대화하고 솔루션 정렬 시간을 단축하기 위해 +/- 0.2 "m '의 적극적인 노출 정렬 범위를 갖습니다. NSR S208D의 다른 기능으로는 시야각 204mm, 최대 테이블 크기 (Table Size) 최대 460mm, 다이 당 최대 45 개의 주사위 등이 있습니다. 또한 S208D에는 새로 설계된 DLC (Diffraction-Limited Coating Unit) 가 있으며, 높은 반복성으로 웨이퍼에 매우 균일 한 코팅 패턴을 제공합니다. 이 DLC 머신 (DLC Machine) 은 노출 시간 단축, 웨이퍼 왜곡 방지, 입자 제어 개선 등 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. S208D에는 새로운 OSRI (One Shot Ready Inspection) 기능을 포함한 혁신적인 검사 기능도 있습니다. 이를 통해 노출 데이터를 실시간으로 검사하고 비교하여 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 공구 (Tool) 는 프로세스가 완료되기 전에 노출 오류를 감지하고 수정할 수 있으므로 더 높은 정확도 요구 사항에 적합합니다. 또한 S208D는 Photoshop® 통합 기능을 지원하므로 사용자가 직접 설계를 만들거나 가져올 수 있습니다. 설계 전반에 걸쳐 S208D는 처리량과 정확성을 모두 강조합니다. 고정밀 옵틱과 효율적인 자산 아키텍처 외에도 강력한 TCU (Temperature Control Unit) 는 매우 정확한 온도 제어를 보장합니다. 이것은 균일 한 노출 반복성을 보장하고 열 드리프트, 특히 재 작업 작업에 대한 중요한 고려 사항을 최소화합니다. 또한 S208D에는 실시간 프로그램/데이터 업데이트가 포함되어 있어 유지 관리 및 사전 예방적 유지 보수가 용이합니다. NIKON NSR S208D Wafer Stepper는 고급 석판화 애플리케이션을 위한 안정적이고 강력한 솔루션입니다. 처리량과 정확도를 극대화하는 반면, 고급 검사 기능을 통해 품질 관리 (quality control) 를 보장할 수 있습니다.