판매용 중고 NIKON NSR S207D #9391602

NIKON NSR S207D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제작에 사용되는 고정밀 리소그래피 도구입니다. 장치 제작 파운드리, 연구 개발 연구소 및 교육 기관에 이상적입니다. 이 장비는 비용, 정확성 및 처리량에 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 2 개의 주요 구성 요소, 고급 광학 투영 장치 및 기판 이동을위한 전동 x/y 스테이지로 구성됩니다. 또한 기판을 빠르게 교환하기위한 자동 로더가 포함되어 있습니다. 광학 투영기는 정밀 광학 렌즈 도구 (optical lens tool) 와 전기 광학 변조를위한 스테핑 모터 (stepping motor) 로 구성됩니다. 광학은 볼록 (Convex), 오목 (Concave) 및 무채기 광학 (Achromatic Optics) 을 포함하여 최대 20 개의 거울과 렌즈로 구성되며, 자산과 함께 장착되어 제공됩니다. optics는 수차가 낮고, 광학 해상도가 높으며, 이미지 품질이 좋습니다. 고급 스테핑 모터는 높은 정확도 스테이지 위치 제어 및 렌즈 회전을 가능하게합니다. 전동 x/y 스테이지는 정확성과 속도를 위해 설계되었습니다. 디지털 제어 스테핑 모터에 의해 구동되며 고급 모션 컨트롤이 특징입니다. 스테이지는 400mm x 400mm 범위를 가지며 최대 500mm/s 빠른 동작을 제공 할 수 있으며, 정확도는 0.7 mm 입니다. 단계에는 낙하 방지 및 충돌 보호도 포함됩니다. 자동 로더를 사용하면 레티클 (reticle) 과 유리 플레이트 (glass plate) 를 보호하고 자동 작동을 위해 기판을 신속하게 교환 할 수 있습니다. 결론적으로, NIKON NSR-S207D 웨이퍼 스테퍼는 장치 제작에 이상적인 리소그래피 툴로서, 높은 정확도와 처리량을 제공합니다. 정밀 광학 투영 모델, 전동 x/y 스테이지 및 빠른 기판 교환을위한 자동 로더가 특징입니다. 이 장비는 많은 유형의 반도체 장치의 비용 효율성과 정확한 제작을 위해 설계되었습니다.