판매용 중고 NIKON NSR S207D #293817914

NIKON NSR S207D Wafer Stepper는 반도체 장치 제조에 사용되는 고성능 광학 석판 기계입니다. 해상도 0.22 m의 고음질 패턴화를 위해 설계되었습니다. 스테퍼의 기능에는 웨이퍼 패턴화 중 정확한 깊이 제어도 포함됩니다. NIKON NSR-S207D 는 출시 당시 업계에서 사용할 수 있는 최고 해상도의 광 미디어 (optical) 기술을 위해 설계되었습니다. "오프셋 초퍼 (Offset Chopper)" 라고도하는 고급 CCD 이미징 장비는 고효율 이미징 시스템으로 사용됩니다. 이 장치에는 단일 웨이퍼 노출을위한 2 개의 개별 CCD가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 여러 필드 간에 필요한 정밀도 (registration) 를 얻을 수 있으므로 웨이퍼 패턴에서 높은 품질을 얻을 수 있습니다. 스테퍼는 웨이퍼 및 레티클의 정확한 정렬 및 위치를 지정하기 위해 6 개의 축으로 구성됩니다. 처리 챔버 내에서의 배치 및 배치는 고급적이고 정확도가 높은 포지셔닝 머신 (positioning machine) 에 의해 제어됩니다. 통합 자동 교정 도구는 최적의 웨이퍼 배치 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한, NSR S207D의 특징은 정밀 Z 축 (Z-Axis) 자산으로, 노출 과정에서 웨이퍼 깊이를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 모델은 여러 초점 레벨이 필요한 굵은 기판을 처리하는 데 특히 유용합니다. 또한 NSR-S207D 는 자동 교환 장비 (Automated Exchange Equipment) 를 사용하여 수작업 없이 렌즈, 레티클 등 스테퍼 구성요소를 교환할 수 있습니다. 이렇게 하면 수동 교환으로 인한 오류 및 오류의 잠재적 원인이 제거됩니다. 이 스테퍼에는 처리량, 편의성, 인체 공학을 향상시키는 다양한 자동화 옵션이 있습니다. 스테퍼의 여러 애니메이션 옵션을 사용하면 웨이퍼를 설치, 로드, 언로드하는 것이 매우 빠르고 편리합니다. 고급 레티클 정렬 시스템 (Advanced reticle alignment system) 은 노출 중 정확한 등록을 위해 웨이퍼를 사용하여 레티클을 정확하게 정렬 할 수있는 또 다른 중요한 기능입니다. NIKON NSR S207D는 유지 보수가 최소화되어 안정성이 뛰어나도록 설계되었습니다. "스테퍼 '의 활성 온도 조절 장치 는" 머신' 의 구성 요소 들 이 전체 과정 에 걸쳐 정해진 온도 범위 내 에 있게 한다. 마지막으로, NIKON NSR-S207D 는 복잡한 프로세스 설정 및 유지 보수 작업을 간소화하는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다.