판매용 중고 NIKON NSR S207D #293811115

NIKON NSR S207D는 최신 반도체 제작의 요구를 충족하도록 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 스테퍼 리소그래피, 마스크 정렬기, 패턴화 작업에 사용할 수 있는 일체형 플랫폼입니다. 표준 생산 수요의 경우 최대 8 인치, 고급 애플리케이션의 경우 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 스테퍼에는 고급 NIKON 옵틱이 장착되어 있으며, 전력 소비량이 매우 적고 이미징 품질이 향상되도록 최적화되었습니다. 단계 및 반복 (step and repeat) 기능을 사용하면 다양한 기판에서 일관되게 오버레이 및 패턴화할 수 있습니다. NIKON NSR-S207D는 반도체 제작에서 모범적인 패턴화 정확성을 달성하도록 설계되었습니다. 매우 정밀한 옵틱 디자인은 매우 길고 안정적인 이미징 속성을 보장하며, 최대 0.42 발의 해상도를 제공합니다. 스테퍼는 또한 스캐너 모터 제어 시스템 (scanner motor control system) 과 아연 도금 미러 드라이브 (galvanometric mirror drive) 를 사용하여 정밀도 및 반복 성을 향상시킵니다. 필드 크기의 최단 마진에 대해 ± 0.5µm의 높은 반복 성 (high repeatability) 을 제공하도록 설계되었습니다. 이 기계는 자동화된 작동에 최적화되어 빠른 설정과 높은 처리량을 보장합니다. 편리하게 운영 작업을 제어하고 관리할 수 있는 다양한 연결 옵션을 제공합니다 (영문). NSR S207D는 또한 자동 초점 조정, 자동 도량형, 프로세스 제어, 추적 및 정렬 등 다양한 작업 제어 기능을 제공합니다. NSR-S207D 는 최대의 프로세스 제어 및 생산성을 제공하도록 설계된 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 옵틱과 모션 컨트롤 시스템 (Motion Control System) 을 결합하여 뛰어난 화질과 높은 처리량을 제공합니다. 이 기계의 견고한 구조는 다운타임을 최소화하여 일관성 있고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 보장합니다.