판매용 중고 NIKON NSR S207D #293590796
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판매
ID: 293590796
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
KrF Scanner, 12"
CIM: SECs
External FOUP system
SMIF
Fan Filter Unit (FFU)
Temperature controller
Excimer laser
Amp rack
2006 vintage.
NIKON NSR S207D는 반도체 레이저 산업의 대량 생산 및 고급 연구 애플리케이션을 위해 설계된 고정밀, 고가용성 웨이퍼 스테퍼입니다. 전용 6 포인트 진동 억제 기술을 활용하여 장비 안정성을 최대화하고, 최적의 웨이퍼 스테퍼 생산을 위해 다양한 사용자 선택 가능 (user-selectable) 작업을 제공합니다. NIKON NSR-S207D는 두 점 사이의 렌즈 동작을 독립적으로 제어하는 2 개의 선형 베어링을 사용합니다. 이것 은 "렌즈 '를 매우 정확 하게 조종 하여" 웨이퍼' 에 아주 작은 구멍 이나 "트렌치 '를 만든다. 진동 억제에 2 개의 선형 베어링 (linear bearing) 을 사용하면 진동이 발생하지 않게 될 수 있는 진동을 피할 수도 있습니다. "웨이퍼 스테퍼 '의 고속 과 정확도 는 최대 0.5" 미터' 의 해상도 를 가진 선형 "인코더 '를 사용 함 으로써 가능 하다. 이를 통해 시스템은 정확성을 유지하면서 다른 위치 사이를 빠르게 왕복할 수 있습니다. 또한 필드의 경계와 모든 패턴의 윤곽선을 빠르게 감지하는 고성능 DXF 지원 레이저 탐지 장치 (DXF-Enabled Laser Detection Unit) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 기계는 정확한 컷과 드릴 구멍을 매우 정확하게 만들 수 있습니다. NSR S207D 웨이퍼 스테퍼는 다양한 패턴 레이아웃 옵션으로 프로그래밍 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어 제어 인터페이스는 시스템의 작동과 구성을 용이하게 합니다. 또한 공구 내 (in-tool) 도움말 창을 사용하여 프로세스의 각 단계에 대한 자세한 이해 지침을 제공합니다. 또한 NSR-S207D 는 자산 운영에 대한 고급 모니터링 및 추적을 위한 원격 접속 (옵션) 을 제공합니다. 또한 NIKON NSR S207D 웨이퍼 스테퍼의 빠른 시동 (fast-startup) 기능을 통해 시스템 시작 시 신속하게 운영 프로세스를 시작할 수 있습니다. 최소한의 공기 소비와 낮은 유지 보수가 필요한 독점적 인 진공 설계 (vacuum design) 를 사용합니다. 또한, 이 모델은 웨이퍼 스테퍼의 성능에 대한 고급 모니터링 및 진단 기능을 제공합니다. NIKON NSR-S207D 웨이퍼 스테퍼는 신뢰성이 높으며, 신뢰할 수 있는 부품과 빠른 속도로 고품질 생산을 보장합니다. 고급 기능과 사용자 친화적 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 대량 생산 및 고급 연구 애플리케이션에 모두 적합합니다. 또한, 진동 억제 설계와 결합 된 정밀도 및 절삭 속도 (cuting speed) 는 저렴한 비용으로 높은 성능과 정밀도를 보장합니다.
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