판매용 중고 NIKON NSR S207D #293587228

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ID: 293587228
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
KrF Scanner, 12" FOUP External system Factory interface: SMIF Temperature controller Amp rack Gigaphoton laser Fan Filter Unit (FFU) CIM: SECs 2006 vintage.
NIKON NSR S207D 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 생산에 사용되는 정밀 기기입니다. 나노 스케일 해상도 (nanoscale resolutions) 에서 반도체 웨이퍼 표면에 리소그래피 패턴을 정확하게 스텝하도록 설계되었습니다. S207D 모델에는 최고 해상도의 정확도를 유지하면서 여러 마스크를 정렬할 수있는 고급 5축 (Advanced) 장비가 있습니다. 또한 여러 가지 고급 기능 (advanced features) 이 장착되어 있어 스테퍼 (stepper) 작업을 이전보다 쉽고 효율적으로 수행할 수 있습니다. S207D는 최대 0.4 미크론의 고해상도 직접 이미징 시스템과 최대 0.5의 NA (수치 조리개) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 초고화질 (ultra-fine) 크기의 패턴을 인쇄하여 사용 가능한 최고 정밀도를 제공합니다. 스테퍼에는 고급 프로그래밍 가능한 스캐너 (scanner) 가 있어 최적의 이미지 형성을 위해 마스크 스테이지의 움직임을 사용자 정의할 수 있습니다. 이 "스캐너 '는 더 큰 정확도 와 속도 를 얻기 위하여 거칠고 세밀 한" 스테핑' 을 할 수 있다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 에 의해 구동되는 스테퍼는 사용자가 쉽게 작업을 수행할 수 있도록 선명하고 직관적인 인터페이스를 제공합니다. NIS-Elements 소프트웨어가 기본으로 제공되며, 고급 사용자는 Pro II 버전을 최대한 활용할 수 있습니다. 프로 II (Pro II) 버전은 여러 가지 추가 처리 기능을 자랑하며 고급 사용자가 스테퍼를 정확한 요구에 맞게 세밀하게 조정할 수 있습니다. S207D에는 고급 SIMARIS-15 시리즈 및 적외선 기반 SR-4300 시리즈를 포함한 여러 정렬 시스템도 장착되어 있습니다. 두 시스템 모두 매우 정확하여 타겟 패턴에서 0.3 미크론 이내의 결과를 제공합니다. 또한 스캐너 (scanner) 에는 고속 스테핑을 통해 처리량을 크게 늘릴 수 있는 효율성 설정이 있습니다. 또한 S207D에는 3채널 컨트롤러, 전원 공급 장치, 공압 기계, 조명 도구 등 사용이 간편한 주변 장치 어레이가 함께 제공됩니다. 또한 이미지 처리 모듈 (image-processing module), 자동 초점 모듈 (autofocus module), 패턴 검사 모듈 (pattern inspection module) 등 다양한 기능 모듈을 갖춘 통합 프로그래밍 가능한 컴퓨터 자산이 있습니다. 이 모듈은 스테퍼 (stepper) 기능을 최대한 활용하는 동시에 최고 수준의 정확성과 효율성을 보장하도록 설계되었습니다. 니콘 NSR-S207D (NIKON NSR-S207D) 는 인상적인 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 장치 생산에서 최고 수준의 정확성과 효율성을 제공할 수 있습니다. 고급 5축 (Advanced 5-axis) 모델은 최적의 이미징 성능을 제공하는 반면, 직관적인 소프트웨어와 수많은 주변 장치 구성 요소는 모든 어플리케이션에 사용하기 쉽고 다양한 기능을 제공합니다.
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