판매용 중고 NIKON NSR S207D #293587213
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판매
ID: 293587213
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
KrF Scanner, 12"
CIM: SECs
FOUP External system
Factory interface: SMIF
Fan Filter Unit (FFU)
Temperature controller
Excimer laser
Amp Rack
2004 vintage.
NIKON NSR S207D (최첨단 고정밀 웨이퍼 스테퍼) 는 오늘날의 고급 반도체 제작에서 까다로운 초소형 기능 패턴화 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 최대 해상도 0.3 미크론, 최소 1ms, 올인원 (All-in-One) 노출 필드 크기의 S207D는 미세 피치 및 고밀도 장치 어플리케이션에 적합한 도구입니다. 혁신적인 듀얼 스테이지 소스 렌즈 시스템 (Dual-Stage Source Lens System) 을 탑재한 S207D는 다양한 웨이퍼 크기에 탁월한 노출 균일성과 높은 처리량을 제공합니다. 동력 노출 거리 (Motorized Exposure Distance) 및 객관적인 렌즈 이동은 지속적인 공중 이미지 강도를 보장하는 반면, 초단파, 단파 SCRF 노출 시스템은 업계에서 가장 높은 단일 노출 처리량을 달성하는 데 도움이됩니다. S207D에는 다양한 종류의 리소그래피 (lithography) 요구 사항을 충족하는 다양한 노출 기술이 탑재되어 있습니다. 여기에는 MAPSYN, LEAP, SEM-LIG 및 Flip 노출 기술, 최대 정확성과 빠른 프로세스를 보장하는 전용 웨이퍼 및 마스크 정렬기가 포함됩니다. 또한 S207D 는 여러 노출 프로파일 (Exposure Profile) 을 지원하여 각 프로세스가 특정 디바이스 유형에 최적화되어 광범위한 프로세스에 적합합니다. S207D (S207D) 는 인상적인 노출 성능 외에도, 운영 효율화를 위해 설계된 여러 가지 기능도 갖추고 있습니다. 여기에는 완전 모듈식 (Fully Modular) 및 서비스 가능한 설계가 포함되며, 다양한 위치에 신속하게 설치, 서비스할 수 있습니다. 또한 S207D는 고급 자동화 패키지를 제공하여 웨이퍼 마운트/마운트 해제, 노출, 웨이퍼 처리 등 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리를 지원합니다. NIKON NSR-S207D는 모든 고급 반도체 구성 처리에 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 성능, 완벽한 자동화 패키지, 탁월한 처리량을 자랑하는 초소형 (Ultra Small) 기능 패턴의 효율적이고 경제적인 생산성을 보장하는 완벽한 툴입니다.
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