판매용 중고 NIKON NSR S206 #293817851

NIKON NSR S206
ID: 293817851
Scanner.
NIKON NSR S206은 주로 microfabrication에 사용되는 photolithographic process 기술에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. "노출 (exposure)" 이라는 과정을 통해 반도체 기판을 코팅하는 포토 esist를 이미지화하도록 설계되었습니다. 이 스테퍼에는 2 개의 노출 시스템이 있으며, 그 중 하나는 할라이드 수은 램프와 다른 하나는 LED 어레이를 사용합니다. 요건에 따라, 노출 관점에서 조명 소스를 변경할 수 있습니다. 이 장비는 스테퍼가 더 빠른 속도로 성능을 발휘할 수 있도록 하며, 최대 0.25 마이크로미터 (마이크로미터) 의 해상도로 높은 정밀 패턴화를 보장합니다. 스테퍼는 다양한 포토 마스크 (photomask) 를 허용하고 사용할 수 있도록 저항합니다. 여기에는 양수, 음수 및 세이블 톤이 포함됩니다. NSR S206은 또한 유리 기판, Silicon, Ge, GaAs 및 InP와 같은 웨이퍼 기판을 포함한 다양한 기판을 사용할 수 있습니다. 또한 석영과 같은 중간 크기의 플레이트를 수용 할 수도 있습니다. 스테퍼를 사용하면 스티칭 (stitching) 또는 수동 리터칭 (manual retouching) 이 필요 없이 넓은 필드에 대한 이미지의 정밀도가 높아집니다. 자동 스티칭 (stitching) 기능을 사용하면 큰 필드를 더 작은 조각으로 나누어 노출시킨 다음 함께 스티칭할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR S206은 큰 단계 필드를 노출 할 수 있습니다. 웨이퍼 표면은 내장형 레이저 클리너 (clean-in laser cleaner) 로 깨끗하게 유지되며, 이는 이미지의 충실도에 도움이됩니다. 또한, 자동 초점 및 노출 제어 기능은 매우 훌륭한 미크론 패턴을 제공합니다. 이 소프트웨어는 정교한 이미지 최적화를 가능하게 하며 뛰어난 NA (Numerical Aperture) 풀 파워와 더 빠른 이미징 시간을 혼합합니다. 스테퍼는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공되며 여러 Photomask 제작 기술과 통합 될 수 있습니다. 전반적으로 NSR S206 은 탁월한 처리량과 해상도를 제공하는 고급 스테퍼입니다. 고급 반도체 프로세스의 효율성과 반복성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다.
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