판매용 중고 NIKON NSR S205C #9308056
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ID: 9308056
웨이퍼 크기: 12"
KrF Scanner, 12"
Magnification: 4x
Wave length: 248 nm
Exposure type: Static
Handedness: Inline left / Right
Track interfaces: TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8, ACT 12-200, ACT 12
Lens type: 4:1
MAC Real-time lens control
Chamber type: Standard
Chamber temperature set point: 22.2°C
Variable numerical aperture: 0.6 - 0.75
sPURE
Resolution Enhancement Technology (RET)
RET Apertures:
1/3 Annular (LNA: 0.75)
1/2 (LNA: 0.75)
2/3 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.75)
2/5 (LNA: 0.68)
SHRINC Illuminator σ: 0.85
Quick Reticle Change (QRC)
(6) Reticles, 0.25"
Reticle microscope compatibility: 22.0 mm fixed
Reticle loader with reticle controller
Reticle barcode reader
Field Image Alignment (FIA) System
Laser Step Alignment (LSA) System
Phase contrast FIA
TTLFC2
Beam matching unit
Pre-alignment 2
Wafer stage: Air bearing / Linear motors
Wafer loader: Type 4
AVIS System
Multipoint focus / Level
Extended wafer carrier table
Pellicle Particle Detector (PPD3)
NIKON SECS II GEM Interface
CYMER ELS6410 KrF Excimer laser source.
NIKON NSR S205C는 포토 마스크 리소그래피 프로세스를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 독점 정적 및 운동 이미징 장비로 반도체에서 평면 패널 디스플레이 (flat panel display) 에 이르기까지 다양한 장치 애플리케이션에 대한 마스크를 생성 할 수 있습니다. NIKON NSR S 205 C 스테퍼는 뛰어난 이미지 품질을 위해 최대 해상도 6.6 m의 높은 처리량 노출 헤드를 사용합니다. 또한 하위 해상도 이미징을 지원하는 HDI (High-Dynamic Indexing) 및 DLW (Direct Laser Writer) 와 같은 최신 NIKON 기술을 통합합니다. 또한, 이 스테퍼는 정확한 웨이퍼 정렬 및 배치를 가능하게하는 7 축 멀티 스테이지 자동 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 스테퍼에는 원래 Carl Zeiss-Varilux 광학 장치와 NIPR (Nanometer Resolved Imaging Platform with Resolutions) 이 포함되어 있어 다양한 기판 및 포토 마스크 유형에 대한 뛰어난 해상도와 반복 성을 제공합니다. 또한 NSR S205C는 에너지 소비를 줄인 빠른 아크 모양의 조리개 이미징 머신을 갖추고 있습니다. 이 스테퍼는 또한 독점적 인 대기 투영 기술을 제공하여 노출 과정 전반에 걸쳐 가스 소비를 최소화합니다. 또한, 스테퍼는 단일 노출 작업에서 동시 단일 또는 이중 노출이 가능하므로, 연산자가 1 개 또는 2 개의 마스크에 1 개를 노출 할 수 있습니다. 전체 NSR S 205 C 툴은 다양한 석판화 (lithography) 시뮬레이션 및 매개변수로 프로그래밍되는 고성능 연산성을 갖춘 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공합니다. 더욱이, 이 스테퍼에는 에너지 절약 자동 감지 웨이퍼 공급 자산이 장착되어 있어 에너지 절약, 안전 운영 등이 가능합니다. 또한 자동 초점 모델 (auto-autofocus model) 은 초점 설정 프로세스를 자동화하고 뛰어난 웨이퍼 중심 정밀도를 생성합니다. 또한, 스테퍼에는 커스터마이징 가능한 인터페이스 (customizable interface) 가 제공되어 다양한 애플리케이션의 리소그래피 (lithography) 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR S205C는 최적화 된 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이, 이미지 센서, 기타 이미지 관련 제품의 생산에 적합합니다. 강력한 이미징 (Imaging) 장비와 다양한 고급 (Advanced) 기능이 장착되어 있어 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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