판매용 중고 NIKON NSR S205C #9258895

NIKON NSR S205C
ID: 9258895
웨이퍼 크기: 8"
KrF Scanner, 8".
NIKON NSR S205C 는 최첨단 석판화 장비로, 웨이퍼에 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 그것은 Terasaki 형 유리 챔버, i 라인 시스템 및 NIKON 개발 DUV 프로젝션 광학을 사용하는 웨이퍼 스테퍼로 구성됩니다. 테라사키 (Terasaki) 형 챔버는 진동을 줄이고 photomask aligner/stepper가 작동 할 수있는 매우 안정적인 환경을 제공하도록 설계되었습니다. i-line 장치는 4 개의 i-line 거울과 단일 i-line 조명 소스로 구성됩니다. I-Line 머신은 픽셀 왜곡 (Pixel Distortion) 이 적을수록 초점 깊이와 인쇄 성능이 향상됩니다. NIKON이 개발한 DUV 프로젝션 광학은 이미지 명암이 높고 플레어가 적은 양면 패턴화를 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 최고 8 인치 직경의 웨이퍼를 자동으로 정렬 및 인쇄 할 수있는 최첨단 웨이퍼 변경 도구입니다. i-line 자산은 최고 2cc/초의 고속 패턴 이동을 허용합니다. 이 모델은 또한 고정밀 (high-precision) 스테이지를 특징으로하며, 마스크 패턴이 정확성과 안정성으로 인쇄되도록 필요한 안정성을 제공합니다. NIKON이 개발 한 DUV 투영 광학은 또한 더 높은 스테퍼 처리량을 제공하도록 설계되어 생산량 증가를 가능하게합니다. 고급 웨이퍼 스테핑 기능 외에도 NIKON NSR S 205 C에는 자동 마스크 정렬 및 에지 추적, 시밍을위한 높은 확대 모니터, 자동 분할 조리개 수정, 높은 정확도 축적 등 다양한 기능을 제공하는 고급 컨트롤러가 있습니다. 고급 컨트롤러에는 임베디드 PC 장비 (wafer stepper 및 기타 컨트롤러와 통신) 가 포함되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 작업을 단순화하고 복잡한 웨이퍼 패턴을 빠르고 정확하게 설정 및 제어할 수 있는 사용자 친화적 인 인터페이스를 자랑합니다. NSR S205C 는 전체적으로 "웨이퍼 '에 고품질 이미지를 제작할 수 있는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. NSR S 205 C는 Terasaki 유형의 유리 챔버, i-line 시스템, NIKON 개발 DUV 프로젝션 광학 및 고급 컨트롤러를 사용하여 반도체 및 평면 패널 제조 프로세스에 대한 웨이퍼를 패턴화하는 데 이상적인 선택입니다.
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