판매용 중고 NIKON NSR S205C #9114891

NIKON NSR S205C 웨이퍼 스테퍼는 집적 회로를 제조하는 데 사용되는 고급 리소그래피 장치입니다. 설치 공간이 작고 유지 관리 요구 사항이 적은 안정적이고 정확한 툴입니다 (영문). 이 장비는 자외선 (UV) 에서 적외선 (IR) 까지 넓은 스펙트럼 범위를 커버하는 여러 파장 노출 소스를 사용합니다. 또한, 시스템은 고급 스테이지 오버랩 감지 기능을 갖춘 2 개의 2 축 독립 스캐너를 가지고 있어 매우 정확한 오버레이 정확도를 제공합니다. NIKON NSR S 205 C는 또한 12um CD에서 이미지를 형성 할 수있는 마스크 패턴을위한 고해상도 이미징 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 정렬 정확도가 3um +/- 0.6um인 자동 마스크 정렬기가 있습니다. 또한 고급 데이터 스토리지 시스템 (Advanced Data Storage Machine) 과 대용량 프로젝션 렌즈 (Projection Lens) 를 통해 정확한 시점 크기 제어 및 초점 성능을 제공합니다. 이 도구에는 중간 크기 및 소형 기판에 적합한 최적화된 사전 레벨 (pre-leveling) 단계도 있습니다. 스테퍼는 3 "~ 8" 의 다양한 웨이퍼 크기를 지원하도록 설계되었습니다. 공정 창 (process window) 은 200mm이며, 이를 통해 사용자는 장치의 재료 특성에 따라 가장 적합한 노출 용량을 선택할 수 있습니다. 자산의 소프트웨어는 탁월한 자동화 기능을 제공하여, 사용자가 한 단계에서 여러 작업을 처리할 수 있게 해 주고, 작업 분석기 (Job Analyzer) 기능을 사용하면 프로세스 매개변수를 추적할 수 있습니다. NSR S205C 는 고급 온보드 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 제어되며, 모든 작업에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 실시간 모니터링, 진단 및 경보를 제공하여 모델 성능을 극대화합니다. 또한, 장비에는 SEMI S2 및 S8 Class 1 수준 요구 사항을 충족하는 데이터 로깅 시스템 및 조절 가능한 안전 표준이 장착되어 있습니다. 또한, 이 장치는 높은 신뢰성 데이터 전송을 위해 이더넷, USB, RS-232와 같은 여러 터미널 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 NSR S 205 C 는 다양한 기능을 갖춘 다용도 및 신뢰성 있는 툴입니다. 중형 칩 메이커 (chip maker) 나 R&D 팀에 적합하며 연구 및 생산 환경 모두에서 사용할 수 있습니다. 강력한 성능, 사용 편이성, 종합적인 보호 기능을 갖춘 이 스텝퍼 (stepper) 는 효율성과 생산성을 높이려는 모든 사람에게 적합한 선택입니다.