판매용 중고 NIKON NSR S205C #293621756
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ID: 293621756
빈티지: 2002
KrF Scanner
Load chamber
Chamber and accessories
IIU
BMU
AB Rack stand
CYMER ELS-6410 Laser
Illumination unit
FAB AC
Transformer
NIKON S53 Chiller
AMP Rack double / Single and accessories
2002 vintage.
NIKON NSR S205C 웨이퍼 스테퍼는 반도체 장치 제작에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테핑 도구입니다. S205C (S205C) 는 직경이 최대 8 인치 인 둥근 웨이퍼를 스캔 할 수 있으며, 리소그래피 애플리케이션에 적합한 고정밀 패턴화가 가능합니다. S205C에는 정교한 제어 시스템과 함께 NIKON 리소그래피 광학 (optics) 기술을 사용하여 정확성과 안정성을 보장하는 잘 설계된 광학 장비가 있습니다. S205C (S205C) 는 패턴을 웨이퍼에 정확하게 인쇄하는 프로세스를 지원하는 여러 가지 기능을 제공합니다. S205C의 광학 (optics) 은 빠르고 정확한 빔 정렬을 위해 웨이퍼 (wafer) 의 정확한 이동을 허용하는 동력 단계에 의해 구동됩니다. 이 장치는 또한 고정밀 초점 검출 (focus focus detection) 을 가능하며, 초점 렌즈 위치 및 웨이퍼 프로파일 측면에서 단단히 제어 할 수 있습니다. 이러 한 특징 들 을 결합 시키면, 조그마 한 "피쳐 '도 매번" 웨이퍼' 에 정확 하게 인쇄 된다. 또한 S205C의 처리 시스템은 최적의 성능을 유지하도록 설계되었습니다. 처리 장치는 진공 척 (vacuum chuck) 과 웨이퍼를 정확하게 정렬하고 처리 할 수있는 6 축 로봇으로 구성됩니다. 이를 통해 웨이퍼 처리 측면에서 처리량과 정확도가 높아집니다. 또한 S205C에는 위험한 석판화 가스에 오염과 실수로 노출되는 것을 방지하는 많은 안전 기능이 내장되어 있습니다. 마지막으로, S205C에는 리소그래피 프로세스를 단순화하는 다양한 사용자 친화적 인 소프트웨어가 있습니다. 사용자는 소프트웨어를 원격으로 설정, 모니터링, 제어할 수 있으므로 유연성과 생산성을 높일 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 품질 관리를 위한 손쉬운 데이터 기록 및 분석 기능도 내장되어 있습니다 (영문). 요약하면, NIKON NSR S 205 C는 반도체 장치의 정확하고 효율적인 생산을 지원하기 위해 설계된 웨이퍼 스테핑 도구입니다. 탁월한 광학 도구, 정확한 처리 자산 및 사용자 친화적 인 소프트웨어를 통해 고밀도 리소그래피 (lithography) 어플리케이션을 선택할 수 있습니다.
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