판매용 중고 NIKON NSR S205C #293619857
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NIKON NSR S205C 단계 및 스캔 장비는 반도체 생산의 고급 사진 리토 그래피 프로세스를 위해 설계된 고정밀, 고해상도 최첨단 석판 시스템입니다. 이 장치는 처리 시간을 최소화하면서, 최고 품질의 이미지와 패턴을 생성할 수 있습니다. 빔 소스는 고효율 ArF (가스 방전 엑시머) 레이저 광원으로, 스캔 필드에서 5 미크론의 매우 정밀한 스팟 직경과 최대 광도 약 100 mW/cm2를 제공합니다. 이 시스템은 스캔 전용 및 스테퍼/스캐너의 두 가지 구성으로 제공됩니다. 스캔 전용 (scan-only) 모드는 이미지 패턴이 큰 노출에 해당하며, 이를 반복하거나 등록할 필요가 없습니다. 스테퍼/스캐너 모드 (stepper/scanner mode) 는 공구를 스테퍼에 직접 연결하여 매우 정밀하게 중요한 기능의 대규모 분야를 통합하고 반복할 수 있도록 합니다. S205C에는 3 개의 독립적 인 갈바 노미터 스캐너가 장착되어 있습니다. 메인 스캐너는 전체 필드 스캐닝을 담당하고, 2 개의 서브 스캐너는 0.7 미크론의 높은 2D 라인 너비 해상도를 달성하는 데 사용됩니다. 주 스캐너는 고유 한 단일 스팟 빔을 사용하여 스캐닝 시간을 줄이고 이미지 왜곡을 줄입니다. 이 에셋은 또한 고급 CCD 카메라의 고급 이미징 모델 (연속 렌즈 범위) 을 제공합니다. 따라서 정확한 회로 패턴에 대해 스캔 해상도를 최대 0.4 미크론까지 높일 수 있습니다. 장비 (equipment) 의 사용자 인터페이스는 효율적인 작동과 강력한 설정 제어를 위해 설계되었습니다. 작동 패널과 4.3형 컬러 LCD (Color LCD) 디스플레이는 모든 매개변수를 제어하는 반면, 경보 기능은 시스템을 쉽게 관리할 수 있습니다. 또한 웹 브라우저, IP 주소, 이더넷 접속 등 다양한 편리한 네트워크 기능을 제공합니다. NIKON NSR S 205 C의 또 다른 인기있는 기능은 내장 자동 정렬 기계로, 스테퍼와 스캐너를 정렬하는 프로세스를 자동화합니다. 이는 최소한의 패턴 불일치를 보장하며, 이는 이미지 성능 저하 및 수율 손실을 초래할 수 있습니다. NSR S205C 는 매우 효율적이고 정확한 석판화 툴로서, 생산 라인 사진 해설의 극단적인 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 공업용 반도체 (반도체) 생산에 안전하고 신뢰할 수 있는 선택이며, 다양한 고급 광회로 (optical circuit) 의 생산에 적합하다.
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